Способ изготовления оптического отражающего фильтра

Способ изготовления оптического отражающего фильтра

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ п)447658

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 19.12.72 (21) 1863714/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет

Опубликовано 25.10.74. Бюллетень № 39

Дата опубликования описания 05.03.75 (51) М. Кл. G 02Ь 5. 28

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 535.345.67 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Ш. А, Фурман, Н. Ф, Макаров и Е. Г. Столов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ОТРАЖАЮЩЕГО

ФИЛЬТРА

Предмет изобретения

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может найти применение для изготовления отражающих фильтров, используемых в инфракрасных приборах, космической технике и т. и.

Известны способы изготовления фильтров, основанные на фотометрическом методе контроля толщин наносимых пленок и смене контрольных образцов.

Цель изобретения — увеличение крутизны спектральной характеристики.

Для этого по предлагаемому способу после нанесения каждой пары слоев металла и диэлектрика, начиная со второй, меняют контрольный образец с двухслойным покрытием, параметры слоев которого идентичны параметрам одноименных слоев первой пары, причем нанесение слоя металла прекращают после прохождения минимума отражения и достижения коэффициента отражения, равного

5 — 20%, на длине волны, расположенной в зоне меньшего отражения, а осаждение диэлектрика прерывают в момент достижения наибольшей крутизны спектральной характеристики.

Сущность предлагаемого способа заключается в следующем, Изготовляют четырехслойный фильтр и контрольные образцы, содержащие по одному слою металла с диэлектриком. Параметры образцов идентичны параметрам одноименных слоев первой пары четырехслойного фильтра (m в количестве, равном — — 2, где ьт — чпс, 2

5 ло слоев в изготовляемом фильтре. Затем наносят два последующих слоя металла и диэлектрика, для этого используют изготовленный ранее контрольный образец.

Металл напыляют до тех»ор, пока коэффи10 циент отражения, пройдя через минимум, не достигнет величины 5 — 20%, а диэлектрик— до достижения максимальной крутизны фронта спектральной характеристики. После этого операция нанесения последующих двух

15 слоев повторяется каждый раз с новым контрольным образцом до нанесения требуемого числа слоев.

Предлагаемый способ позволяет наносить чередующиеся пленки металла и диэлектрика

20 заданной оптической толщины и изготовлять отражающие фильтры с высокой крутизной спектральной характеристики.

Способ изготовления оптического отражающего фильтра, заключающийся в нанесении чередующихся слоев металла и диэлектрика, с фотоэлектрическим контролем толЗО щпн слоев « последовательной сменой конт4476:58

Составитель В, Вайторин

Техред В, Рыбакова Корректор Т. Добровольская

Редактор Т. Иванова

Заказ 433/5 Изд, Мз 3I4 Тираж 555 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

3 рольных образцов, отличающийся тем, что, с целью увеличения крутизны спектральной характеристики, после нанесения каждой пары слоев металла и диэлектрика, начиная со второй, меняют контрольный образец с двухслойным покрытием, параметры слоев которого идентичны параметрам одноименных слоев первой пары, причем нанесение слоя металла прекращают после прохождения минимума отражения и достижения коэффициента отражения, равного 5—

20%, на длине волны, расположенной в зо5 не меньшего отражения, а осаждение диэлектрика прерывают в момент достижения наибольшей крутизны спектральной характеристики.