Травитель

Травитель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

I I l т .

l ватенв, . -...........; та,вв

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 448253 (61} Зависимое от авт. свидетельства(22) Заявлено 08.0Т. 73 (213В6 688/26-9 (51) М. Кл.

С 23 f I/00

Н ОХП9/00 с присоединением заявки

Государственный комитет

Совета Мкнкстров СССР во делам изобретений и открытий (32) ПриоритетОпубликовано П.E. 74 Бюллетень № 40

Дата опубликования описания Х5 I2 74 (53) Удк 62I. 794. 422.

° °

: 62I. 382. 002

088.8>, (72) А втор ы изобретения Ю.АМиЮйлОВ,ВеВеНОВикОВ, А И.НОСКОВ И СеНеуманСКая (71) Заявитель (54 ТРАВ)ТЕЛЬ

Изобретение относится к травителям, применяемым s технологии изготовления структур с диэлектрической изоляцией элементов, использующихся прй производстве монолигных интегральных схем в микроэлектронике.

Известен анизотропный травитель содержащий, вес4:

1.дкий калий I8-20

Деионизованную воду 55-60

Изопропиловый спирт 20-25

Однако значигельное расслаивание смеси на две фазы делает травигель неоднородным по составу и затрудняет процесс, поскольку скорость травления становится нелинейной.

При гравлении извесгным травителем полупроводниковых пластин, например кремниевых, значительно искажаегся исходная форма элементов рисунка, искажение проявляется в расгравливании углов (р=16-IU мкм), образованных переаечез

2 нием двух взаимно перпендикулярных канавок.

Искаженйе геометрической формы элементов усложняет конструирование комплекта фотошаблонов и затрудняет операцию совмещения при повторной фотолитографии.

Цель изобретения — нахождение однородного сосгава анизотропното го травителя, минимально искажающего исходную геометрическую форму элементов.

Эта цель достигаегся тем,что исходные компоненты травителя взяты в следующем соотношении, вес. дкий калий 4-6

Деионизованная вода 60-64

Изопропиловый спирт 32-34

Преимущества предлагаемого травигеля в том, что при сосгавлении травителя и в течение всегс времени гравления состав однороден, расслаивание отсугсгвует; растравливание углов элементов

Составитель Ю МИХайЛОВ

Редактор М»БЫЧКОВа текред Н СЕНИНа ,„„„, и.кдрандашова д1@ Д 1 ираж и Я Подписи

ЦНИИГ1И Государственного комитета Совета Министро инист ов СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб„4 снятие «Патент». Москва, Г-59, Бережковская наб., 24

4482

3 схе бы при вытравливании ч — образ ных канавок на кремниевых пластинах с ориентацией (И0) равно

r = 7-9 мкм (t — парамегр, по которому оценивали растравлйвание углов злементов); имеет достаточно высокую скорость травления- 30 мкц/час; при травлении наблюдается воспроизводимость резуль- 19 татов от одного процесса к друго3Q »

ПРИМЕР. Предлагаемый гравитель состоит из следующих компонентов, вес.ф:

Едкий калий 5 4 еионизованная вода 60,7 зопропиловый спирг 33,9

Сначала составляют водный раствор едкого калия, и к нему 29 сбавляют изопрониловый спирт. се тщательно перемешивают. Цля травления используют пластины кремния марки КЭФ =0 5 с ориента- . цией поверхносги (Х00) и с то- 25 литографическим рису . Ширина дорожек в маске равна 46 мкм.

Защитной маской при травлении, 4 служит пленка термической двуокиси кремния толщиной 0,4 мкм.

Травление проводят в йредлагаемом травителе 70 мин при +80+2 С в кварцевой емкости с водоохлаждаемой крышкой. Глубина протравленной дорожки равна 33 мкм. Величина растравливания углов (t ) равна не более 8 мкм.

Оценка качества геометрии вытравленного микрорельефа проводилась с помощью микроинтерферометра МИН-4.

ПРАЙЕ MBOSPETEHMH

Травитель, преимущественно, для получения микрорельефа на кремниевой пластине с ориентацией поверхносги по плоскости (200), содержащий едкий калий, деионизованную воду и изопропиловый спирт, отличающийся тем, что, с целью обеспечения однородности травителя, его исходные компоненты взяты в следующем соотнашении, вес.Я:

Едкий калий 4 6 еионизованная вода 60-64 зопропиловый спирт 32-34