Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советснни

Соцнаннстннескнх

Ресеублнк (11) 449П7 (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 15. g . 72 (21)1846564/22-I (51) М. Кл.

С 23с И/00

Государствеииый иомитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий с присоединением заявки(32) ПриоритетОпубликовано 05, gg. 74 Бюллетень №

Дата опубликования описания Х5. I2. 74 (53) УДК 62I.793.Т4.

02. 5I

088. 8> (72) Авторы изобретения

Ю.М. Королев и В.Ф.Соловьев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПАНЕСЕНИИ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ

ФАЗЫ

Изобратвнив относится к области нанесения покрытий в вакуумв и можвт быть использовано для нанесения покрытий из газовой фазы на внвлнюю поверхность длинномврных издвлий.

Изввстно устройство для нанвсвния покрытиИ иэ газовой фазы на внв:днюю повврхность длинномврных издвлий, содвржащвв вертикальную рвакциойную камвру со съвмными днищами, снабжвнными сальниковыми уалотнвйиями для крвалвния издвлия и каналами для ввода и вывода газов, расположвнными концвнтричвски относитвльно уплотнвний, Каналы для вывода газов выполнвнй в нижнвм днище а для ввода газов - в верхнвм. Цднако отмвчавтся относитвльно йизкая ствавнь использования 9о полвзных компонвнтов. Это объяснявтся твм1 что при подачв хазовои смвси сверху со скоростью, мвньшвй скорости конввкционного пото ка, возникающвго за счет различия

2 твмпвратур ствнок и цвнтральной нити (аодложки), газовая смесь оттвс явтся к наружным ствнкам камеры и отбиравтся снизу иэ частично обедненного газового аотока, который нв находится в íåèîñðâäстввнном контактв с нагрвтой повврхностью.

Цель йзобрвтвния - аовышвнив ствавни использования реагирующих ввщвств. Зто достигавтся твм, что устройство сыабжвно экранами, смонтированными коаксиально камврв, каналы для вывода газов выполнвны в вврхявм днищв, причем один из экранов смонтирован нвпосрвдстввнно на вврхнвм днище между каналами для ввода и вывода газов, а другой держателями установлен на нижнвм дницв с зазором относитвльно нвго.

На чвртвжв првдставлвно првдложвннов устройство.

Устройство состоит йз камвры

I со съемными днищами 2 и 3, снабжвнными сальниковыми уплотнвниями

4 gas EP803,8НИЯ 53$8352 б R каналами для ввода 6 и вывода 7 газовой смеси, экранов 8 и 3 и нагревателя IO.

Устройство работает следую= щим образом.

При нагревании подложки в раакционном пространства возникает конвекционный поток газовой смеси, направланиа которого показано О стралками. Газовая смесь поступает в раакциойноа пространство по каналам 6 и попадает в нисходящий поток, движущийся у станок камеры I.

Ба участка между верхним 8 и ниж- д ним 9 BEgGHBMH происхоДит частичная диффузия раагирующих веществ из нисходящаго потока в восходящий, обусловленная различием концентраций по сечению камеры I. Частично 2о обедненная газовая смесь в нисходящем потока достигает днища 2 и, пройдя под экраном 9, попадает в восходящую ветвь койвакционного потока, гда вступает в напосрадстваннйй контакт с повархностью издалия 5. Во врамя движения сни-, зу вверх газовая смесь интансивно раагируат и выводится вверху чараз каналы 7, расположанпыа вблизи подложкие удлин8ниа пути, на KGTGQQM отбираются ПОлезны8, компоненты из газовой смеси, и напосрадстванный контакт рааеирующих компонентов с награ*ой повархностью повышают степень использования полезных компоH8HTQB

ПР1КМЕТ ЛЗОБР "TEHMH

Устройство для нанасания покрытий из газовой фазы на внешнюю повархность длинном8рных ездалий, содаржащаа вертикальную раакционную камеру со съемными днищами, снабжанными сальниковыми уплотйаниями для кр8плания изделия и каналами для ввода и вывода газов, расположанными концентрически относитально уплотнений, о т л и— ч а ю щ 8 e с я там, что, с цаЛЬЮ ПОВЫШ8НИЯ Стапаии ИСПОЛЬзОвания раагирующих ващаств, оно снабжено экранами, смонтйрованными коаксиально камара, причем один из экранов смонтирован непосредственно на вархнам днище между каналами для ввода и вывода газов, другой — держателями установлай на нижнем днище с зазором относительно наго, а каналы для вывода газов выполнены в верхнем днищаg