Высоковакуумный шибер

Высоковакуумный шибер

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

Qll ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 450920 (61) Зависимое.от авт. свидетельства(22) Заявлено 02.03. 73(21)Х888234/25-8 (51) M- K .

РХ6а 3/фО

Государственный ноиитет

Соаатв Министров СССР вв делам изобретений и открытий с присоединением заявки(32) Приоритет»

Опубликовано25,ХХ74 Бюллетень № 43

Дата опубликования описания П). Х2 74 (5З) УДК 621.646 (088.8) (72) Авторы изобретения М с АИИС8ВдрОВев еВеК.ЛИЛЬЕ И Б.7.ЛЬВОВ (71) Заявитель

МоскоВский институт электронного машиностроения (54) ВЫСОЮВАКУ МНЫЙ ШИБЕР

Изобретение относится к ваку= умной технике.

Известные высоковакуумныв шиберы, содержащие внутри корпуса с седлом подвижную в осевом направле 5 нии герметизированную сильфонами ,запорную втулку и перемещаемую пер. пвндикулярно потоку при помощи привода шиберную заслонку, контактиру. ющую в крайнем закрытом положении ю с втулкои и седлом, не обеспечивают равномерности распределения запирающего усилия по периметру седлае

Цель изобретения — повышение 16 надежности шибера за счет обеспече-. ния равномерности распределения запирающего усилия по периметру седла, Для этого привод запорной втулки выполнен в виде аксиально 20 расположенных, взаимодействующих друг с другом шестерни с кулачковой профильной торцовой поверхностью, контактирующей с корпусом че рез радиально-упорный подшипник, al m

2 жестко соединвйного с запорнои втулкой. диска, подпружиненного с одной стороны пакетом тарельчатых пружин и контактирующего другой стороной при помощи роликов с торцом шестерни.

На чертеже показана конструктивная схема предлагаемого высоковакуумного шибера.

Бибер содержит внутри корпуса

Х с седлом 2 подвижную в осевом направлении гермвтизированную сильфонами запорную втулку 3 и перемещаемую перпендикулярно потоку при помощи привода шиберную заслонку 4, контактирующую в крайнем закрытом положении с втулкой и седлом.

Привод запорной втулки выполнен в виде аксиально расположенных и взаимодействующих друг с другом шестерни 5 с кулачковой профильнЫ торцовой поверхностью, контактиру.ющей с корпусом через радиально- . упорный подшипник 6 и жеотко сое(диненного с запорной втулкой диска

4

7, подпружиненного с одной сторонц пакетом тарельчатых пружин 8 и контактирующего другой стороноИ при помощи роликов Э с торцом шестерни.

Для открытия шибера приводит ся во вращение шестерня 5, переме щающая кулачковый профильйой поверхностью диск и запорную втулку влево (см. чертеж).

Шиберная заслонка перемещает-. ся с помощью привода (на чертеже не показан).

Для закрытия шибера указанные операции выполняются в обратной последовательности и в-дополнение к ним, через штуцер 10 проводится вакуумирование замкнутой полости И.

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Высоковакуумный шибер, содержащий внутри корпуса с седлом подвижную в осевом направлении герметизированную сильфойами запорную втулку и перемещаемую перпендикулярно потоку при помощи привода ши берную заслонку, контактирующую в крайнем закрытом положении с втул.коИ и седлом, о т л и ч а ю щ и И с я тем, что, с целью повышения надежности за счет обеспечения рав:номерности распределения запирающего го усилия по периметру седла, привод запорноИ втулки выполнен в виде аксиально расположенных, взаимодействующих друг с другом шестерни с кулачковой профильной торцовой поверхностью, контактирующеИ с корпусом через. радиально-упорный подшипник, и жестко соединенного с запорной втулкой диска, подпружиненного с одной стороны пакетом тарель чатых пружин и контактирующего другой стороной при помощи роликов с торцом шестерни..

Составитель Я(КЯЯ3ЩЯ

Pe «>îð НКОЗЛОЗй Техред Н СОНЕН8 Корректоры: РКИСВДО)Щ

Заказ /,5,35О Изд. И Qg Тираж 8Й Поднисное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открытый

Москва, 1l3035, Раушская наб., 4

Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24