Кассета для доводки плоскопараллельных пластин

Кассета для доводки плоскопараллельных пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП И

ИЗОБ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКО (61) Зависимое от а (22) Заявлено 15 12 с присоединением з (32) Приоритет

) M, Кл.И О1р

11/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР ов делам изобретений н открытий

Опубликовано

);уД (6 1.3 7 ?. . 4 1 2. О О ), 5 (О м ), H ) Дата опублнк о1 л (2) АвтоРы A. В. Балыков, Ю. В, Пантелюшкин, Б. И, Камка, П. С. Старнпгно» н изобРЕтениЯ ., В. А. Пешков (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ДОВОДКИ

ПЛОСКОПАРА Л Л ЕЛ Ь Н Ы Х П ЛАСТИ! I

Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может быть использовано

I при обработке кристаллогрфически ориентированных пластин кремния, германия,арсенида галлия и т. д., 5

Известны кассеты для доводки плоскоцараллельных пластин, например кварцевых резонаторов, состоящие из двух наложенных один на другой плоскопараллельных дисков. l0

Однако известные кассеты не обеспе чивают достаточно высокой точности доводки.

11елью изобретения является повышение точности доводки. )5

Для этого кольцевая поверхность дисков выполнена зубчатой, причем в диске расположенном со стороны обрабатываемых пластин, выполнены сквозные гнезда, форма которых соответствует форме обра- 20 батываемых пластин.

Па чертеже приведена схема конструкции кассеты.

Кассета для доводки плоскопараллель-: ных пластин состоит из двух частей - ф верхней части 1 и нижней части 2. ПаI ружный контур обеих частей кассеты идентичный и выполнен в виде зубчатого колеса

Верхняя часть кассеты имеет сквозные гш: да, контур которых соответствует контуру обрабатываемых пластин, а ее нижняя часок выполнена в виде сложного плоскопараллельного диска.

B гнезда верхней части 1 кассеты помещаются обрабатываемые пластины 3 базовой стороной вниз. Сверху на обрабатываемые пластины устанавливают верхний доводочный диск 4, которым и производят доводку.

Доводку пластин для исправления клиновидности осуществляют в следующем по рядке.

На нижний доводочныЙ llHGK 5 устанав ливают кассеты, совмещая попарно их верх= ! ние и нижние части и вводя их зубчатые элементы в зацепление с наружными и .внутренними зубчатыми венцами. Затем ! в гнезда кассет устанавливают подлежа«1 ,щие обработке пластины таким образом, «чтобы их базовая сторона контактировалг.

451154Составитель A.Туляков

Редактор Д.3иньковский Текред H.Õàíååâà

Корректор Т.Гревцова

Заказ еРЗ

Цзд. № 8Б

Тираж >60

Подписное

Е111ИИПИ i осударствеиного комитета Совета Мииис1ров СССР по делам изобретений и о-,крытий

Москва, 113О35, Раушская наб., 4

Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24 з с нижней плоскопараллельной ч. стью кас сеты. Сверху устанавливают доводочный .диск 4. При вращении наружного (или внутреннего) зубчатого венца кассеты вра щаютсяя вокруг своей осМ и вокруг осН

1 поводочных дисков, а обрабатываемые пла стины совершают при этом сложное движение, при этом происходит обработка одних верхних сторон пластин, а их базовые стороны не обрабатываются. Процесс доводки может осуществляться при помощи паст или суспензий из абразивов, алмазов или эльбора.

Предмет изобретения

Кассета для доводки плоскопараллель-. ных пластин, например кварцевых резонаторов, состоящая из двух наложенных один на другой плоскопараллельных дисков. отличающаяся тем, что,. с целью повышения точности доводки, кольце вая поверхность дисков выполнена зубча.: той, причем в диске, расположенном со ,стороны обрабатываемых пластин, выпол:нены сквозные гнезда, форма которых со: ответствует форме обрабатываемых пластин.