Материал на основе нитрида циркония
Иллюстрации
Показать всеРеферат
О П И С А- Н-и=И=
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик (11) 451774
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 26,04.72 (21) 1777579/22-1 с присоединением заявки ¹â€” (32) Приоритет
Опубликовано 30,11.74 Бюллетень № 44
Дата опубликования описания 29.О3,75 (51) М. Кл. С 22с 29/00
С 04 35/58
Гасударственный комитет
Совета Министров СССР аа делам изооретеннй и открытий (53) УДК 621.762:669, .018,95(088,8) (72) Авторы изобретения
В. С. Дергунова, А. В. Емяшев и С. 3. Мартынов (71) Заявитель (54) МАТЕРИАЛ НА ОСНОВЕ НИТРИДА ПИРКОНИЯ
6,9-7,2
1 900-2 500
3-10
Остальное
Бор
Нитрнд циркония
1,5-2
Изобретение относится к материалам на основе ннтрида нирконня, которые используются для зашиты нагревательных элементов вакуумного испарения цветных металлов, например никеля и алюминия. 5
Известен материал на основе нитрида циркония, служащий для зашиты нагревательных элементов вакуумного испарения цветных металлов. )О
Пель изобретения — повышение стойкости испарительных элементов.
С этой целью предлагается материал на основе нитрида циркония, который отлича- 15 ется от известного тем, что в него введен бор при следующем соотношении компонентов, вес. %:
Способ изготовления описываемого материала заключается в осаждении из газо25 вой фазы . сплава указанного состава при
1500-1800оС и давлении 10-30 мм рт.ст. причем газовая фаза содержит хлориды бора и циркония, азот и водород.
Соотношение исходтых газовых компонентов, применяемых для получения предлагаемого материала, следующее:
Н: ф .. С1:ВС1 = 10:15:2:1 (мольное со соотношение).
Осаждение материала ведут преимущественно на графите.
Материал имеет следующие свойства
Плотность, г/см
Микротвердость, кг/мм
Стойкость при испарении алюминия, час при скорости подачи алюминия
5 г/мин при скорости подачи алюминия 0,14 г/мин
4S1774
3-10
Остальное
Материал на основе нитрида циркония, отли ч а ю ш и и с Я тем. ч» с ю 5 Нитрид пиркония
Составитеаь Э. Залманова
Редактор E. Шепелева Техред Г.Подуруиища Корректор П.Стельмах
Тираж
Изд.И (з-.. Eg73
Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР ио делам изобретений и открытий
Москва, 113035, Раушская наб., 4
Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская иаб., 24
Предмет изобретения повышения стойкости испарительных элвментов, в него введен бор при следующем соотношении компонентов, вес. 7;