Устройство для защиты смотровых стекол вакуумных камер от запыления

Устройство для защиты смотровых стекол вакуумных камер от запыления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (») 451807 (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 27.06.73(21) 1935313/22-1 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет

Опубликовано 30. 11. 74 Бюллетень № 44

Дата опубликования описания 27 03.75 (51) М. Кл.

С 23с 13/1О

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изооретений и аткрьпий (53) УДК 621. .14.002.52 (ОМь к) (72) Авторы изобретении

Г. К. Клименко, В. П. Ковалев, В. H. Лысаков, В. 11. 1 канев и М. М. Чурсин (71) ЗаивитЕль Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красно о Зналмни высшее техническое училитце им. H. Э. Баумана (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАШИТЫ СМОТРОВЪ|Х СТЕКОЛ

ВАКУУМ11ЫХ КАМЕР ОТ ЗАПЪ|ЛЕ11ИЯ

11зооретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и л1ожет быть применено для зашиты стекол вакуумных установок от загрязнения.

11звестно устройство для зашиты смотро- 5 вых стекол вакуумных камер от зат рязнения, содержащее источник защитного агента, расположенньп„в камере экран с отверстием и дополнительную камеру, соединенную с источником защитного агента и смонтирован- 10 ную между стеклом и экраном.

Однако поступление защитного агента из дополнительной камеры непосредственно в рабочий объем камеры влияет ня рабочий процесс, цовьииает требования к откачиваю- 1а щей системе и отрицательно сказывяетоя ня качестве обработки.

1|ель изобретения — повышение качества обработки путем исключения влияния зашит но|î Hl ентя HH рябочукт атмосферу.

Достич яется это тем, чго устройство снябж но системой рециркуляции защитно о агента, включякнцей последовательно смонтированные конденсатор, сборник и насос, иричел конденсатор установлен между до2 полнительной камерой и экраиолi, насос соединен с источником защитного а ентя, а источник защитного агента выполнен в виде парогенератора.

Иа чертеже лредставленя конс рулции предложенного устройства.

Устройство содержит экран I c о гверстием, размещенный перед стеклом 2 вакуумной камеры 3, и дополнительную камеру 4, снабженную штуцером 5 для подачи заиппног.о агента из источника 6, выполненного в виде парогенератора. Между дополнителт ной камерой 4 и экраном 1 смонтирован конденсатор 7, последовательно соединенный с насосом В и источником 6 зяшитно— го агента, связанным трубопроводом 9 со штуцером 5 для подачи защитного я -нгя в дополнительную камеру 4.

Ус гройство работает следукицил обрязол .

||яр из источника защитного агента по трубопроводу 9 через штуцер 5 поляегся в дополнительную камеру 4 и исгекяет из сл1онрового отверстия, препятствуя п1кмшкновению продуктов работы устройства к стеклу 2.

I!1iåäóñMîòð í подогрев гтекля во избежя