Прямоточный испаритель для получения паро-газовых смесей

Прямоточный испаритель для получения паро-газовых смесей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

п11 454284

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскии

Социал истическии

Республин (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 10.04.72 (21) 1771947/23-26 (51) М. Кл, С 23с 13/12 с присоединением заявки ¹

Гасударственный камите1

Савета Министрае СССР по делам изееретений и открытий (32) Приоритет

Опубликовано 25.12.74. Бюллетень № 47

Дата опубликования описания 05.02.75 (53) УДК 539.23(088.8) (72) Авторы изобретения

В. И. Клыков и Н. П. Кокориш (71) Заявитель (54) ПРЯМОТОЧНЬ!Й ИСПАРИТЕЛЪ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ

ПАРО-ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ

Предмет изобретения

Изобретение относится к радио- и микроэлектронике.

Известен испаритель для получения парогазовой смеси для напыления пленок, в котором емкость для испаряемого материала и камера насыщения выполнены в одном термостатирующем корпусе и соединены между собой цилиндрическим каналом. В таком испарителе испарение материала происходит со всей его поверхности.

Предлагаемьш прямоточный испаритсль для получения паро-газовых смесей, содержащий помещенные в термостат емкость для испаряемого вещества и расположенную над ней камеру насыщения, отличается тем, что испаритель снабжен капилляром, соединяющим емкость для испаряемого вещества с камерой насыщения.

Такая конструкция обеспечивает уменьшение концентрации легирующей примеси в паро-газовой смеси, так как испарение материала (лигатуры) происходит только с поверхности, ограниченной сечением капилляра.

На чертеже схематично изображен предлагаемый испаритель.

Испаритель содержит цилиндрический сосуд 1, например, из кварца, разделенный на две части перегородкой 2. Нижняя часть испарителя представляет емкость 3 для испаряемого вещества, снабженную трубкой 4 для наполнения этой смкости испаряющимся веществом (лигатурой) . Верхняя часть испарителя (камера 5 насыщения) снабжена трубками ввода б и вывода 7 газа-носителя. Йспаритель с установленным в нем капилляром

8 помещен в термостат 9, внутри которого циркулирует термостатирующая жидкость.

Испаритель работает следующим образом.

Газ-носитель проходит через камеру 5 насы10 щения, где захватывает пары легирующего компонента с поверхности капилляра 8. Диаметр капилляра определяется в зависимости от требуемого диапазона концентрации лигатуры в паро-газовой смеси и упругости ее

15 паров. Трубка вывода 7 испарнтеля с помощью шланга соединяется с установкой для диффузии или другими объектами.

В предлагаемом испарителе малая концентрация легирующего компонента в паро20 газовой смеси достигается путем уменьшения поверхности испарения до размера площади поверхности жидкости в капилляре.

При необходимости образования потоков различных паро-газовых смесей используют

25 несколько испарителей.

Прямоточный испаритель для получения

30 паро-газовых смесей, содержащий помещеп454284

Составитель Г. Ольшанская

Редактор О. Кузнецова

Корректор Е. Кашина

Техред Т. Миронова

Заказ 151/3 Изд. № 230 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ные в термостат емкость для испаряемого вещества и расположенную над ней камеру насыщения, отличающийся тем, что, с целью уменьшения концентрации легирующей примеси в паро-газовой смеси контролируемого химического состава, испаритель снаожен капилляром, соединяющим емкость для испаряемого вещества с камерой насыщения.