Устройство для измерения удельной емкости пленочных конденсаторов

Устройство для измерения удельной емкости пленочных конденсаторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(и) 454463

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

161) Зависимое от авт. свидетельства (22) 3 аявлено 22,09.72 (21) 1830698/26-9 с присоединением заявки М (32) Приоритет (51) M. Кл. G 01п 25/14 тасудврственныи комите1

Саввтв й1инистров СССР аа делам изобретений и открытий

Опубликовано 25.12.74. Бюллетень № 47 (53) УДК 539.216.2:

:531.717(088.8) Дата опубликования описания 31.01.75 (72) Авторы изобретения

А. И. Беспальчик и В. Н. Глебов (71) Заявитель Казанский ордена Трудового Красного Знамени авиа (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОЙ ЕМКОСТИ

ПЛЕНОЧНЫХ КОНДЕНСАТОРОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к электроизмерительной техники и может быть использовано для измерения удельной емкости пленочных конденсаторов в процессе их изготовления методом напыления в вакууме.

Известны устройства для измерения удельной емкости пленочных конденсаторов, выполненные в виде конденсатора с двумя обкладками, одна из которых жестко закреплена на корпусе и соединена с измерительным мостом. 10

При этом точность измерения удельной емкости определяется воспроизводимостью геометрических размеров его обкладок.

Цель изобретения — повышение точности измерения. 15

Достигается это тем, что другая обкладка конденсатора выполнена съемной с закрепленным на ней трафаретом, причем плоскость трафарета расположена под острым углом к плоскости съемной обкладки. 20

На фиг. 1 изображено описываемое устройство; на фиг. 2 — то же, вид сбоку; на фиг. 3 — сечение А — А на фиг. 1.

Устройство для измерения удельной емкости пленочных конденсаторов выполнено в ви- 25 де конденсатора с двумя обкладками 1 и 2.

Обкладка 1, съемная, жестко укреплена на корпусе 3, с закрепленным на ней трафаретом 4, образующим угол сс (меньший 90 ) между плоскостью трафарета 4 и обкладкой 30

1. Электрический контакт обкладки 1 с корпусом обеспечивает хорошее экранирование устройства. Обкладка 2 соединена с измерительным мостом.

Устройство вместе с трафаретом 4 располагается в вакуумной установке в районе подложки, на которую напыляется пленка.

Отверстие трафарета 4 позволяет поступать парам пспаряемого вещества нз пспарптеля на внутреннюю поверхность обкладки 1 и осаждаться на ней в виде пленки 5. С:омощью измерительного моста измеряется изменение емкости конденсатора.

После напыления устройство подготавливается для следующей операции напыления.

Для этого обкладка 1 снимается, с ес поверхности удаляется напыленная пленка 5, а затем она вновь устанавливается.

Устройство для измерения удельной емкости пленочных конденсаторов, выполненное в виде конденсатора с двумя обкладками, одна пз которых жестко закреплена на корпусе и соединена с измерительным мостом, отл ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, другая обкладка конденсатора выполнена съемной с закрепленным на ней трафаретом, причем плоскость трафарета расположена под острым углом к плоскости съемной обкладки.

454463

НапраВ77еииа пароВ

Фиг.2

Puz. 7

Фиг .7

Составитель Н. Блинкова

Техред Т. Миронова

Корректор Л. Орлова

Редактор Е. Гончар

Типография, и р. Сапунова, 2

Заказ 116, 11 Изд. № 22! Тираж 651 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5