Тигель для испарения материалов в вакууме

Тигель для испарения материалов в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

4 11456053

О П И С А Н ;И„,,Р.

ИЗОБРЕТЕН ЙЯ

Сове Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (О!) Зависимое от авг. свидетельства (22) Заявлено 31.07.72 (21) 1816013/22-1 с присоединением заявки М (32) Приоритет

Опубликовано 05.01.75. Бюллетень N 1

Дата опубликования описания 17.02.75 (51) М. Кл. С 23с 13!12

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений .и открытий (53) УДК 621.793.14. .002.52 (088.8) (72) Авторы изобретения

Ю. Д. Клебанов и В. Н. Сумароков (71) Заявитель (54) ТИГЕЛЬ ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения покрытий методом термического испарения.

Известен тигель для испарения материалов в вакууме. Для получения .потока паров в направлении вне зоны видимости открытой поверхности испаряемого материала в тигле его оснащают экранами, нагреваемыми до высокой температуры, установленными над тиглем и направляющими поток нейтральных атомов вниз. Однако отмечается необходимость нагрева экранов до температуры порядка температуры испарения материалов покрытия, что сопровождается резким усложнением конструкции устройства, увеличением энергетических затрат и наличием «мертвой зоны» в нижней полусфере из-за экранирующего действия собственно тигля.

Цель изобретения — повышение качества покрытий, снижение затрат электроэнергии при испарении в направлении, противоположном открытой поверхности тигля. Это достигается тем, что стенки и дно тигля снабжены сквозными капиллярными каналами.

На чертеже представлен предложенный тигель, Тигель 1 выполнен из диборида титана с молибденовой связкой и органическим пластпфикатором и имеет в дне капиллярные каналы 2. В рабочем положении тигель подвешивают на вольфрамовой проволоке 3 к водоохлаждаемому держателю 4. Поток электронов

5 от,нити накала 6, ускоренных высоким напряжением, приложенным между нитью и тиглем, нагревает тигель 1, преимущественно

10 дно. Расплавленный металл 7 вытекает через капилляры на внешнюю поверхность тигля, .преимущественно дно, и, испаряясь, создает поток нейтральных атомов 8. Крышка 9 устраняет испарение материала вверх, выполняет

15 функции экрана. Боковые отверстия 10 служат для откачки ви утренней полости тигля, Тигель для испарения материалов в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий, снижения затрат электрбэнергии при испарении в направлении

25 противоположном открытой поверхности тигля, стенки и дно тигля снабжены сквозными капиллярнымп каналами.

456053

Составитель Л. Анисимова

Редактор О. Филиппова Техред Е. Борисова Корректор А. Васильева

Заказ 284/17 Изд. № 266 Тираж 962 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушскаи наб,, д. 4/5

Типографии, пр. Сапунова, 2