Устройство для транспортировки подложек микросхем

Устройство для транспортировки подложек микросхем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и) 456390

Союз Соеетскнх

Социалистических республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 16.04.?1 (21) 1652102/26-9 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.01.75. Бюллетень ¹ 1

Дата опубликования описания 20.02.75 (51) М. Кл, Н 05i; 13 02

Г 2;. 13/08

Госурарственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений н открытий (53) УДК 621.396.6-181.5 (088.8) (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ ПОДЛОЖЕК

МИКРОСХЕМ

Предмет изобретения

Изобретение относится к радиотехнике, в частности к технологическому оборудованию для производства радиодеталей.

Известны устройства для транспортировки подложек микросхем, преимущественно, для многопозиционных установок вакуумного напыления последовательного действия со шлюзовой загрузкой, содержащие транспортирующий блок в виде расположенных друг за другом спутников и приводной механизм.

Однако в известных устройствах возможно заклинивание спутников, повышение сопротивления перемещающего их толкателя и расходуется много электроэнергии.

Цель изобретения — повышение надежности работы устройства.

Для этого каждый спутник снабжен расположенными на его противоположных торцовых поверхностях по ходу транспортировки пазами и захватами, служащими для сочленения спутников в единую транспортирующую цепочку, а приводной механизм размещен на выходе транспортирующей цепочки и кинематически связан с расположенным на выходе крайним спутником.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство, на фиг. 2 — спутник.

Устройство для транспортировки подложек микросхем содержит транспортирующий блок, в виде расположенных друг за другом спутников 1. На противоположных торцовых поверхностях спутников по ходу транспортировки имеются пазы 2 и захваты 3 для сочленения спутников в единую транспортирующую цепочку. Приводной механизм 4 размещен на выходе транспортирующей цепочки и кинематически связан с pac»oложснным на выходе крайним спутником. Приводной механизм может быть непрерывного плп периодического перемещения, например цепная передача илп

10 ходовой винт †ходов гайка, снабженная захватами.

Устройство для транспортировки подложек микросхем, преимущественно для многопозиционных установок вакуумного напыления последовательного действия со шлюзовой загрузкой, содержащее транспортирующий блок

2р в виде расположенных друг за другом спутников и приводной механизм, о т л и ч а ю щ е еся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, каждьш спутник снабжен расположенными на его противоположных торцовых поверхностях по ходу транспортировки пазами и захватами, служащими для сочленения спутников в единую транспортирующую цепочку, а приводной механизм размещен на выходе транспортирующей цепочки и кинематическп связан с расположенным на выходе крайним спутником.

Редактор В. Дибоебс

Составитель А. Блинкова

Техред А. Камышникова

Корректор А. Дзесова

Заказ 295/16 Изд. № 268 Тираж 867 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий

Москва, iK-35, Раушская наб., д. 4)5

Типография, пр. Сапунова, 2