Анализатор однопольного масс-спектрометра

Анализатор однопольного масс-спектрометра

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

i 456627

OllMC

ИЗОБРЕ

К АВТОРСКОМУ

Стиве Оооетоиик

Социалистических

Ресоублик (61) Зависимое от авт. с (22) Заявлено 21.03.73 () М. Кл. В 01d 59/44

G 01п 27/62 с присоединением

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 15.01.75.

Дата опубликования оп

) УДК 621.384.8 (088.8) (72) Авторы изобретения

Н. Н. Багров, В. Х. Тесленко и Г. В. Соловьев (71) Заявитель

Физико-технический институт низких температур

АН Украинской ССР (54) АНАЛИЗАТОР ОДНОПОЛЬНОГО МАСС-СПЕКТРОМЕТРА

Государственный комитет (32) Приоритет

Изобретение предназначено для разделения заряженных частиц по величине отношения массы к заряду и может быть использовано в экспериментальной физике.

Известны однопольные масс-спектрометры, в которых разделение ионов по величине от. ношения и/е осуществляется в поле конденсатора особой формы, на электроны которого подаются в определенном соотношении постоянное и высокочастотное напряжение.

Величина;ионного тока на выходе из анализатора определяется количеством анализируемого газа, эффективностью ионного источника и другими электрическими и геометрическими параметрами прибора.

Динамический диапазон регистрируемого тока определяется отношением его максимальной величины к минимальному регистрируемому сигналу.

Известный способ регистрации ионного тока во всем динамическом диапазоне осуществляется путем изменения коэффициента усилия измерительного тракта, что позволяет перекрыть в лучшем случае диапазон 10 . Дальнейшее расширение динамического диапазона ограничивается собственными шумами усилительного тракта. В известных пределах расширение динамического диапазона возможно, например, путем изменения тока эмиссии.

Целью изобретения является расширение динамического диапазона регистрируемого

5 тока.

Это достигается тем, что в предлагаемом масс-спектрометре за входной диафрагмой устанавливают электрод, электрически изолированный от электродов анализатора, на кото10 рый подается постоянный потенциал, знак H величина которого может изменяться относительно уголкового электрода.

На чертеже представлена конструкция пред15 лагаемого анализатора однопольного массспектрометра. Центральный электрод 1 и уголковый 2 расположены так, что между ними создается поле, имеющее в поперечном сечении конфигурацию гиперболического. Элек20 трод 3 расположен между входной диафрагмой и центральным электродом, в которо соосно с входной диафрагмой расположено от верстие большего диаметра.

Описанное устройство позволяет путем по

25 дачи на электрод 3 потенциала относительно уголкового электрода 2 в зависимости от его величины и знака изменять в широких пределах величину ионного тока как в сторону его увеличения, так и уменьшения до нуля.

30 При необходимости перекрытия большего

456627

Предмет изобретения

А -А

Составитель Ю. Сухарев

Техред Е. Борисова

Корректор Т, Гревцова

Редактор И. Шубина

Заказ 748/10 Изд. ¹ 1006 Тираж 782 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр Сапунова, ? динамического диапазона целесообразно устанавливать аналогичный электрод у выходной диафрагмы анализатора.

Помимо этого, приведенная конструкция анализатора позволяет осуществлять режим модуляции анализируемого пучка путем подачи на электроды 1 и 3 переменной составляющей. Это позволяет использовать избирательные усилители и тем самым расширить динамический диапазон регистрируемых сигналов и коэффициент усиления при малых уровнях шумов на выходе.

Анализатор однопольного масс-спектрометра, содержащий входную и выходную диаф5 рагмы и два электрода, сечение одного из которых представляет собой круг, а другого— уголок, отличающийся тем, что, с целью расширения динамического диапазона регистрируемого тока, между входной диафрагмой

10 и электродом с сечением в форме круга расположен электрически изолированный дополнительный электрод с отверстием для входа ионов, соединенный с источником напряжения.