Состав для полирования

Состав для полирования

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Дол м@т, 1 о и и-а-а" й:мв

ИЗОБРЕТЕНИЯ п 4577l2

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (51) М, Кл. С 09Q 1/02 (22) Заявлено 06.04.73 (21) 1904519/25-8 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.01.75. Бюллетень № 3

Дата опубликования описания 11.03.75

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.922.079 (088.8) ло долам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Н. О. Новожилов, В. А. Быков и В. С. Цепалов (71) Заявитель (54) СОСТАВ ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ ном. После этого в трехкомпонентную систему добавляют 250 г аэросила при интенсивном перемешивании.

Полирующий состав можно применять для

5 полирования пластин кремния, имеющего различный класс предварительной обработки, разную геометрическую форму, кристаллографическую ориентацию и любую степень легирования.

Состав для полирования полупроводнико15 вых материалов, содержащий аминосоединения, аэросил и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса полирования, в него введен пирокатехин и компоненты взяты в следующем соот20 ношении, вес. %:

Этилендиамин 26,7 — 64

Аэросил 16 — 33

Пир окатехин 5 — 7

Вода Остальное.

Изобретение относится к обработке полупроводниковых материалов.

Известен состав для полирования полупроводниковых материалов, включающий аморфную двуокись кремния (аэросил), аминосоединения (этилендиамин), глицерин, перекись водорода и воду.

Цель изобретения — повысить производительность полирования.

Это достигается тем, что в состав введен пирокатехин и компоненты взяты в следующем соотношении, вес, :

Этилендиамин 26,7 — 64

Аэросил 16 — 33

Пирокатехин 5 — 7

Вода Остальное.

Приводится оптимальный вариант технологии приготовления полировального состава.

5 г пирокатехина смешивают с 200 мл 50 или

70% водного раствора этилендиамина и равномерно перемешивают. Затем в деионизованную воду (300 мл) порциями при перемешивании приливают этилендиамин с пирокатехиПредмет изобретения