Устройство сушки фоторезиста

Устройство сушки фоторезиста

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СОВа Ссеетских

Социалистических

Реснувлик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 23.11.72 (21) 1849438/26-9 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.02.75. Бюллетень ¹ 5

Дата опубликования описания 11.04.75

Государстееииый ксмитет

Совета леииистров СССР

Ао делам изобретгиий и отирытий (53) УДК 621.396.6.049. ,7.5.002 (088.8) (72) Авторы изобретения

Е. В. Балашов и И. P. Невский (71) Заявитель (54) У OACTBO j135I CVIIIKH +OTOPE3HCTA кювета 13 (фиг. 2) имеет герметичную крышку 14. Внутрь кюветы наливают растворитель и устанавливают подложкодержатель 15 с подложкой 10.

5 Первоначально подложки с фоторезистом сушатся в парах растворителя. При этом в кювету наливают тонкий слой растворителя и устанавливают подложкодержатель 16 с подложкой 10. Верхнюю царгу 1 снимают и после

10 установки кюветы на кварцевый подложкодержатель 9 возвращают в прежнее положенис. К штуцеру 11 подводится теплоноситель, нагревающий пространство внутри рабочей царги, а следовательно и растворитель в кю15 вете.

При комбинированной сушки подложки устанавливают в подложкодержателе 9, кювету удаляют из рабочей царги. Включают источник ИК-излучения 4, к штуцерам 6 подают

20 охлаждающую воду, а к штуцеру 11 — теплоноситель, благодаря которому происходит сушка фоторсзиста.

Предмет изобретения

25 Устройство для сушки фоторезиста, содержащее охлаждаемый корпус с расположенным в Heì подложкодержателем, источники инфракрасного излучения с рефлекторами и светофильтры, отличающееся тем, что, с

30 целью повышения качества сушки, корпус вы1

Изобретение относится к радиоэлектронике, может быть использовано при изготовлении интегральных полупроводниковых схем.

Известны устройства для сушки фоторезиста, в корпусе которого расположены источники инфракрасного излучения, светофильтры и подложкодержатель.

Цель изобретения — повышение качества сушки — достигается тем, что корпус предлагаемого устройства выполнен в виде нескольких расположенных одна под другой разъемных царг, причем в крайних царгах расположены источники инфракрасного излучения, а в средней — подложкодержатель с требующимися для каждого типа сушки приспособлениями.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство в разрезе; на фиг. 2 — герметичная кварцевая кювета.

Установка состоит из разъемных царг— верхней 1, рабочей 2, нижней 3. В верхней и нижней царгах смонтированы источники ИК излучения 4 с рефлекторами 5. Штуцеры 6, 7 служат для подвода и слива охлаждающей воды, В центре рабочсй царги, которая с торцов закрывается съемными светофильтрами 8, смонтирован кварцевый подложкодержатель

9, на котором размещаются подложки 10 с фоторезистом. Штуцеры 11, 12 служат для подвода и отвода теплоносителя. Кварцевая Риу " - ъ .„, l ос,; ®! 1111 459753

1

1 !

1 (51) М. Кл. б 03с 11/16

i Н 05k 3/06

459ИЗ

10

Cue t .Риг. 2 полнен в виде нескольких расположенных одна под другой разъемных царг, причем в крайних царгах расположены источники инфракрасного излучения, а в средней — по1ложкодержатель с требующимися для каждого типа сушки приспособяениягии,