Испаритель металла в вакууме

Испаритель металла в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С Л Н И Е 46ИЬЗ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид.ву (22) Заявлено 09.F11.72 (21) 1844746/22-1 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 25.02.75. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 11.04.75 (51) М. Кл. С 23с 13f08

Н 0Ц 41!00

Комитет па делам иаобретений и открмтий при Совете Иинистров

СССР (53) УДК 621.793.14. .002.52 (088.8) (72) Авторы изобретения Ю. В. Кириченко, В. В. Медведников, В. К. Чифоненко и А. Б. Генис (71) Заявитель

) 1

1

; //

-. -Х . (54) ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛА В ВАКУУМЕ " Т:.,:, Изобретение относится к технике испарения металлов в вакууме и может быть использовано для нанесения металлических покрытий на поверхности деталей, а также для испарения гетте ра в откачных вакуумных системах.

Известны устройства электродугового испарения металлов в вакууме, содержащие анод, катод из испаряемого металла, источник питания и поджигающее приспособление.

Цель изобретения — обеспечение регули рования скорости и направления перемещения электродуги вдоль катода и возможность использования катода незамкнутой формы. Для этого предлагаемый испаритель снабжен устройством поочередного пе реключения полярности источника питания и цепи тока дуги с одного токоподвода на другой и датчиками положения электродуги, установленными на катоде.

На чертеже изображена схема предлагаемого испарителя.

Она содержит силовой трансформатор питания дугового раз ряда 1, трехфазный управляемый выпрямитель 2, имеющий два выхода:

« — » и общий «+». Выход «+» выпрямителя подключен к аноду 3, которым обычно является корпус вакуумной камеры, а выходы

« — » к токоподводам катода 4, располагаемым на его концах. На катоде 4 установлены датчики положения 5 и 6 электрической дуги, управляющие устройством переключения цепи тока электрической дуги и полярности источника питания.

Устройство переключения состоит из триггеIp 7, к выходам которого подключены усилители 8 и 9, преобразователи 10 и 11 и ключи управления 12 — 15. Преобразователи 10 и 11 имеют rro два гальванически развязанных выхода.

10 Источник управляющего тока выполнен из управляемого выпрямителя 16, трансформатора 17 и регулятора напряжения 18. Выпрямитель 16 подключен к токоподводам катода 4 и ток управления проходит по нему в на15 правлении, определяемом полярностью источника в заданный момент.

При возбуждении электродугового разряда между анодом 3 и катодом 4 дуга перемещается по катоду в сторону токоподвода, через

20 который в данный момент происходит ее питание. Ток управления, проходящий по катоду, в зависимости от полярности ускоряет или замедляет это перемещение. По достижении дугой зоны расположения датчика 5 или 6

25 сигнал с него переводит триггер 7 в другое устойчивое состояние. Сигнал с другого его выхода после усиления и преобразования управляет выпрямителями 2 и 16, в результате чего цепь тока дуги переключается на другой

30 токоподвод катода 4 и изменяется полярность

461)63

Составитель Ю. Кириченко

Техред T. Миронова

Корректоры: А. Николаева и Л. Корогод

Редактор T. Фадеева

Заказ 842/9 Изд. № 443 Тираж 966 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 управляющего тока. Дуга изменяет íà", ðàBëåние движения на противоположное.

Цикл многократно повторяется, и дуга движется по катоду возвратно-поступательно со скоростью, задаваемой регулятором 18.

Предмет изобретения

Испаритель металла в вакууме, соде ржащий катод с токоподводами, выполненный из испаряемого металла, анод, источник питания и систему поджигания дуги, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью регулирования скорости и направления перемещения электродуги вдоль катода и возможности использования

5 катода незамкнутой формы, он снабжен устройством поочередного переключения полярности источника питания и цепи тока дуги с одного токоподвода на другой и датчиками положения электр одуги, установленными на

I0 катоде.