Испаритель

Испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е (») 46I164

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Саветскик

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву № 387050 (22) Заявлено 14.11.72 (21) 1845637/22-1 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 25.02.75. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 10.04.75 (51) М. Кл. С 23с 13/12

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793.14. .002.52 (088.8) (72) Авторы изобретения

Г. К. Курилин и А. Ф. Лисов (71) Заявитель (54) ИСПАРИТЕЛЬ

Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения качественных пленок сложного физико-механического состава при изготовлении различных микроэлекцронных устройств при вакуумном напылении материалов.

Известен пспаритель типа «лодочка», выполненный из листового тугоплавкого металла с токоподводами, рабочая часть которого имеет секции в виде углублений для испаряемых металлов. Однако из известного испарителя выбрасываются части испаряемого материала при испарении с большими скоростями сублимирующихся веществ.

К)роме того, подобные испарители при получении пленок сплавного характера не обеспечивают их высокого качества в случае испарения нескольких исходных материалов с близкими температурами испарения, загружаемых в соседние секции испарителя, испаряющихся из жидкой фазы, за счет недостаточного перемещения паров.

Цель изобретения — повышение однородности многокомпонентного покрытия путем перемешивания паров отдельных компонентов и устранения выброса кусков вещества при испарении. Поставленная цель достигается тем, что каждая секция снабжена экраном, установленным соосно с секцией и с зазором относительно ее бортов.

На фиг. 1 и 2 изображен предлагаемый псп aip итель.

Испаритель 1 выполнен в виде «лодочки» из листового тугоплавкого металла, рабочая часть его имеет секции 2 в виде углублений для испаряемых металлов. Каждая секция 2 снабжена эк раном 3, установленным соосно с секцией и с зазором относительно ее кромок.

Экраны 3 выполнены из того же материала, что и испаритель 1 и закреплены на боковых стенках секций 2.

Крепление экранов может быть различным: разъемным для обеспечения загрузки расплавляющихся испаряемых материалов или не)разъемным при испарении порошковых сублимирующихся веществ.

Крепление экранов 3 к боковым стенкам секций 2 позволяет применять экраны различ20 ной ширины, так как точки подсоединения эквипотенциальны при протекании тока через испаритель.

Ширина ограничительных экранов 3 меньше ши рины секций 2 и выбирается в зависимости от цели применения испарителя. Для сублимирующихся веществ экраны выполняют более узкими, так как испарение происходит в основном вдоль ребер сочленения секций 2. В этом случае экраны 3 служат для удержания

30 вещества в секциях испарителя.

461164

Фиг. 1

Составитель Л. Анисимова

Техред Т. Миронова

Корректоры; А, Николаева и Л. Корогод

Редактор О. Кузнецова

Заказ 842/10 Изд. № 443 Тираж 966

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2

Для веществ, испаряющихся из расплава 4, их делают более;широкими, так как они служат для формирования направления истечения паров из секций 2.

Предмет изобретения

Испаритель по авт. св. № 387050, отличаю шийся тем, что, с целью повышения однородности многокомпонентного покрытия путем перемешивания паров отдельных компонентов и устранения выброса кусков вещества при испарении, каждая секция снабжена экраном, установленным соосно с секцией и с зазором относительно ее бортов.