Способ динамической гградуировки измерителей парциальных давлений

Способ динамической гградуировки измерителей парциальных давлений

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(ii) 4620 97

ОПИСЛНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидегельства (22) Заявлено 14.06.73 (21) 1932227 18-10 с присоединением заявки № (51) М. Кл. О 01l 27/00

Совета Министров СССР по делан изобретений и открытий

Опубликовано 28.02.75. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 06.06.75 (53) УДК 531.787(088.8) (72) Автор изобретения

В. В. Кузьмин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВКИ

ИЗМЕРИТЕЛЕЙ ПАРЦИАЛЬНЫХ ДАВЛЕНИЙ рг 0 р

ГосудаРственный комитет (32) Приори гет

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к способам градуировки измерителей низких парциальных давлений абсолютным методом.

Известные способы динамической градуировки измерителей парциальных давлений газов недостаточно точны.

По предлагаемому способу динамической градуировки устанавливают в градуировочной камере давление чистого газа путем введения в нее некоторого количества чистого газа, затем вводят поочередно другие чистые газы, измеряя при этом давления смеси по образцовому манометру, по значениям которых определяют расчетным путем парциальные давления каждого газа в градуировочной камере и, сопоставляя системы градуируемого измерителя, по соответствующему компоненту смеси с расчетными парциальными давлениями градуируют измеритель.

Благодаря этому повышается точность градуировки.

На чертеже показана вакуумная система ля осуществления способа.

Вакуумная система состоит из ряда последовательно соединенных камер, откачиваемых насосом 1, примыкающим к одной из них. В камере 2 устанавливается самое низкое давление Р„. Камера 3 (градуировочная) отделена от предыдущей диафрагмой 4 с отверстием, размеры и форма которого таковы, что позволяют легко вычислить его проводимость U (в молекулярном режиме течения) по известной формуле. К градуировочной камере 3, в которой устанавливается давление

Р, более высокое по сравнению с Р, через диафрагму 5 малой проводимости U„ присоединена камера 6. Исходное давление Р„ в ней (более высокое по сравнению с P) измеряют

10 образцовым абсолютным манометром 7. Градуируемый измеритель 8 парциальных давлений присоединяют к градуировочной камере

3. Через натекатели 9 в камеру 6 напускают индивидуальные чистые газы пз резервуа15 ров 10.

Способ градуировки измерителей парциальных давлений состоит в следующем. После предварительной откачки системы открывают один из натекателей и устанавливают в камере 6 давление Ро газа, содержащегося в резервуаре 10. Это давление измеряют образцовым абсолютным манометром 7. Давление

Р этого газа в градуированной камере 3 рассчитывается (при установившемся течении газа и равенстве температур камер и при условиях Р„«Р и U,«U по известной зависимости

462097

Далее сопоставляют расчетное значение Р с еигпа,чом измерителя 8 г<арцпальных давлеIll<1<;<ëя <-оо«зет .гг<у«зп<ег<1 газа, от<<рыва <от другой патекатель (при открытом первом натекателе) для поступления в систему из соответствующего резервуара 10 другого чисто<о газа. Устанавливают в камере 6 давление

Ро данной смеси газов, измеряемое образцовым аосолютным манометром 7. Парциальпое давление Р" газа, содержащегося во втором резервуаре 10, рассчитывают (при установившемся течении газа и равенстве температур камер и при условиях P„«P" и U, «U) по формуле

Р— (Ро — Po).

Повторив указанные операции для всех <азов, закл1очеппь<х в резервуарах 10, и изменяя в каждом случае исходное давление Р„ градуируют измеритель парциальных давлений в требуемом диапазоне давлений по любым чистым газам, но в присутствии других газов в желаемом соотношении. Общая формула для расчета парциальных давлений следующая:

p(z0 0 (р з1 р<л.— 11

U0 у о

Если необходимо выполнить градуировку измерителя парциальных давлений по смеси газов, находящихся в известном соотношении, можно заранее указать ряд давлений Р„которые необходимо последовательно устанавливать для воспроизведения данного состава

< меси. Например, для того, чтобы выполнялось чсловие

Р .Р":P" P<">.= о 3 -(. >. необходимо, чтобы

Р:Ро:Ро": .:Ф = :(+ 3):(-+ +

+<)::(+ . +Ы

Так как заданный состав смеси воспроизводится непосредственно в камере 6, то зависимость проводимости натекателя от рода газа не имеет здесь никакого значения.

Выполнение градуировки измерителя парциальных давлений по отдельным газам в присутствии любых других компонентов смеси (в любом соотношении) по предлагаемому способу устраняет возможные систематические погрешности и поэтому обеспечивает повышение точности градуировки.

Чтобы в процессе градуировки измерителя парциальных давлений не было заметного за10 грязнения чистых газов, заполняющих резервуары 10, газами из соседних резервуаров, необходимо, чтобы время ht выполнения градуировки было ограничено условием рзз рз

PV где Р— полное давление в градуировочной камере, Ррез H рез — давление и объем газа B любом

20 из резервуаров.

Предмет изобретения

Способ динамической градуировки измерителей парциальных давлений путем сопоставления показаний градуируемого измерителя и

50 образцового абсолютного манометра при наличии перепада давлений между ними, созданного с помощью системы камер, отделенных друг от друга диафрагмами известной проводимости, отличающийся тем, что, с

35 целью повышения точности градуировки, устанавливают в градуировочной камере давление чистого газа путем введения в нее некоторого количества чистого газа, затем вводят поочередно другие чистые

40 газы, измеряя при этом по образцовому манометру давления смеси, по значениям которых определяют расчетным путем парциальные давления каждого газа в градуировочной камере и, сопоставляя сигналы

45 градуируемого измерителя, по соответствующему компоненту смеси с расчетными парциальными давлениями градуируют измеритель.

462097

Составитель О. Сафонов

Редактор T. Рыбалова Техред T. Курилко Корректоры: А. Николаева и Л. Корогод

Заказ 1267/10 Изд. № 1268 Тираж 902 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2