Способ изготовления кварцевых резонаторов

Способ изготовления кварцевых резонаторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

IitI462272

ОП ИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 11.09.72 (21) 1827866/26-9 (51) M Кл. Н 031т 3/02 с присоединением заявки №вЂ”

1осударстоенный комитет

Саеета Министрое СССР по делам изобретений и открытии (32) Приоритет—

Опубликовано 28.02.75. Бюллетень № 8 (53) УДК 621.372.412 (088.8) Дата опубликования описания 07.08.75 (72) Авторы изобретения

Н. С. Чекаев, П, E. Мотки, Л. А. Любимов и Э. П. Золотов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ

Изобретение относится к области электронной техники.

Известны способы изготовления кварцевых резонаторов, основанные на механической обработке, химической очистке и доводке путем мягкого травления кварцевых кристаллов.

Недостатком известных спосооов является высокий процент брака готовых изделий.

Цель изобретения — повышение процента выхода годных изделий и оптимизация техно- I0 логического процесса.

Для этого после химической очистки проводят дискретную сортировку партий. каждую партию подвергают параллельной обработке в автономных режимах мягкого травления, à 1> нанесение электродов проводят после оконча тельной сборки пьезоэлемента перед герметизацией.

На чертеже в виде функциональной схемы показана последовательность операций прп 20 осуществлении предлагаемого способа.

Эти операции: распиливание 1, измерение угла среза 2, глубокое травление 3, шлифование 4, контроль размера зерен абразивов 5, отмучивание абразивов 6, коррекция план- 25 шайбы 7, термопрогрев 8, полирование 9, контроль размера зерен 10, отжиг порошка 11, коррекция планшайбы 12, кругление контура кварцевых заготовок 13, частичная отбраковка 14, вторичное шлифование 15, контроль раз- З0 мера зерен 16, отмучивание абразивов 17, коррекция планшайбы 18, вторичное полпрование 19, контроль размера зерен 20, отжиг порошка 21, коррекция планшайбы 22, ультразвуковая очистка 23, химическая очистка 24„ измерение основных параметров 25, вторичная отбраковка 26, дискретная партионпо-допусковая сортировка 27, параллельное мягкое травление 28, вжигание коллоидного серебра 29, сборка и монтаж основных элементов резонатора в держатель 30, вакуумная термообработка 31, нанесение электродов 32, герметизация 33, вакуумирование 34, окончательное измерение параметров готового образ a резонатора 35.

Предмет изобретения

Способ изготовления кварцевых резонаторов, основанный на механической обработке, химической очистке H lIQBolllie Ilh Tcfvl травления кварцевых кристаллов, отличаюи1ийся тем, что, с целью повышения процента выхода годных изделий и оптимизации технологического процесса, после химической очистки проводят дискретную сортировку партий, каждую партию подвергают параллельной обработке в автономных режимах мягкого травления, а нанесение электродов проводят после окончательной сборки пьезоэлемента перед герметизацией.

462272

Редактор Н. Коляда

Заказ 3065 Изд, No 1248 Тираж 902 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и oTHpbITHK

Москва, ьК-35, Раушская наб., д. 4/5

Оол, тип. Костромского управления издательств, полиграфии и книжнойторговли

Г

1 !

Составитель Н. Блинкова

Техред А. Камышннкова Корректор T. Гревцова