Испаритель

Испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 22.01.73 (21) 1875463/22-1 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 05.04.75. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 07.08.75 (51) М. Кл. С 23с 13/12

Гооударстоеииый кемнтат-.

Сооета Мннистроа СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793.14.002. .52. (088.8) (72) Авторы изобретения

Ю. Ю. Бальчюнас, В. И. Гайдялис, Э. А. Монтримас, А. С. Таурайтис и А. Б. Янкаускас

Научно-исследовательский институт электрографии, Каунасский экспериментальный завод средств автоматизации и

Вильнюсский государственный университет им. В. Капсукаса (71) Заявители

B A T Ei

@043 3"00РЫ 8 (54) И С ПАР И ТЕЛ Ь

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения тонких пленок.

Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке. В таком испарителе испарение происходит с постоянной площадью испарения.

Это достигается тем, что испаритель снабжен теплопроводом, смонтированным внури контейнера, и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно крышке и выполненной с возможностью перемещения, а отражательный экран укреплен на теплопроводе.

Форма перфорации диафрагмы выполнена идентичной форме перфорации крышки.

На чертеже представлен испаритель.

Испаритель состоит из контейнера 1 с перфорированной крышкой 2, нагревателей 3 и 4, отражательного экрана 5, теплопровода 6, установленного внутри контейнера 1, и перфорированной диафрагмы 7, перфорация которой идентична перфорации крышки 2.

Отверстия крышки 2 перекрываются диафрагмой 7, выполненной с возможностью перемещения относительно крышки 2. Для предотвращения попадания капель испаряемого вешества на напыляемую поверхность экран 5 смонтирован на теплопроводе 6 и выполнен в виде навеса.

Подбором диаметра отверстий или их количества в крышке 2 испарителя, а также степенью открытия отверстий диафрагмой 7 можно в широких пределах управлять скоростью напыления. При этом температуру испаряемого вещества в резервуаре испарителя можно менять в широких пределах, оставляя заданную скорость напыления слоя, 15 1. Испаритель для вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке, отличающийся тем, что, сцелью

20 получения пленок заданного состава путем обеспечения регулирования площади испарения, он снабжен теплопроводом, смонтированным внутри контейнера, и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно

25 крышке и выполненной с возможностью перемещения, а отражательный экран укреплен на теплопроводе.

2. Испаритель по п. 1, отличаю щи и с я тем, что форма перфорации диафрагмы выпол30 иена идентичной форме перфорации крышки, 466300

Составитель Л. Анисимова

Техред Т. Миронова Корректор Л, Котова

Редактор О. Филиппова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1874/2 Изд. № 706 Тираж 966 Подписное

БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5