Светочувствительный негативный состав

Светочувствительный негативный состав

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и) 466480

Союз Советских

Сониалистических ресоублнк (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 18.12.72 (21) 1858356/23-4 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.04.75. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 08.12.75 (51) М. Кл. G 03с 1/52

G 03c 1/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений н открытий (53) УДК 772.52(088.8) (72) Авто()ь| изобретения

Л. С. Зфрос, T. А.

В. А, Динабу

Ленинградский ордена Т технологический и (71) Заявитель (54) СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ НFГАТИВИЫЙ СОСТАВ

Изобретение относится к области полиграфии, радиотехнической или электронной промышленности, где применяются светочувствительные слои, способные образовывать рельефные изображения — фоторезисты, Известен светочувствительный негативный состав на основе нафтохинондиазидсульфоэфиров эпокс иди ров а нных фенолформальдегидных смол.

Однако невысокий молекулярный вес (500— !

000) феполформальдегидных смол не позволяет получить достаточно механически прочный защитный рельеф с высокой адгезией к подложке.

Целью изобретения является улучшение адгезии и повышение механической прочности защитного рельефа.

Поставленная цель достигается благодаря тому, что нафтохинондиазиды или диазокетоны используют в комбинации с эпоксидированным циклокаучуком с молекулярным весом не ниже -2500 и содержанием эпоксидных групп не выше 15%.

Эпоксидированный циклокаучук получают путем обработки циклокаучука надуксусной или трифторнадуксусной кислотой. Например, 30 г циклокаучука с молекулярным весом 8000 растворяют в 600 мл бензола и к полученному раствору при размешивании и 80 С прикапывают 50 мл надуксусной кислоты. Реакционную массу выдерживают при той же температуре в течение 1 час, после чего охлаждают до 18 — 20 С и постепенно выливают в 2 л ацетона. Выпавший продукт отфильтровывают, 5 промывают при размешивании 1 л ацетона, затем на фильтре дополнительно 100 мл ацетона и 200 мл этилового спирта. После сушки на воздухе получают 26,0 г модифицированного циклокаучука с содержанием эпоксидного кис)0 лорода 10,6% (определение по присоединению

HBr в ледяной уксусной кислоте).

Предлагаемый светочувствительный состав приготовляют путем растворения получения указанным способом модифицированного цик15 локаучука и диазосоединения в органическом растворителе. Раствор фильтруют и наносят на подложку (моно- или биметаллическую пластину) известным способом — центрифугированием, окунанием или методом распы20 ления в электрическом поле. Получают ровный, блестящий слой, который затем экспонируют через монтаж диапозитивов под ксеноновыми дуговыми лампами или лампами ПРК.

Изображение проявляют обработкой про25 экспонированного слоя органическими растворителями.

При использовании такого светочувствительного состава можно регулировать механическую прочность и адгезию к подложке

30 защитного рельефа путем изменения концент466480

3,45

1200

9,5

1160

Предмет изобретения

20 Светочувствительный негативный состав на основе пленкообразующих эпоксидированных смол и светочувствительных диазосоединений, отличающийся тем, что, с целью улучшения адгезии и повышения механической проч25 ности защитного рельефа, в качестве пленкообразующих смол использован эпоксидированный циклокаучук с молекулярным весом не ниже 2500 и содержанием эпоксидных групп не выше 15%.

1160

Составитель А. Мартыненко

Редактор 3. Горбунова Техред Е. Подурушина Корректор В. Брыксина

Заказ 258916 Изд. Мз 632 Тираж 529 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 рации эпоксидных групп и варьирования молекулярного веса модифицированного циклокаучука.

Ниже приведены составы светочувствительных растворов, спектральная чувствительность 5 (длины волн Л, соответствующие максимумам светочувствительности составов), а также растворители, рекомендуемые для проявления изображения.

Состав 1 (в г): 10 п-Бензохинондиазид (т. пл. 91—

93 С; Л=350, 400 нм) 0,6

Эпоксидированный циклокаучук (мол. вес. 4000; содержание эпоксидных групп 3,6%) 100 15

Ксилол 850

В качестве проявителя применяют ксилол.

Состав 2 (в г):

1,2-Нафтохинондиазид- (2) -5сульфоэфир п-трет.-бутилфенола (т. пл. 138 С; Л=350, 400 нм) 1,91

Эпоксидированный циклокаучук (мол. вес 4000; содержание эпоксидных групп 3,6 /о )

Ксилол

Проявитель — ксилол.

Состав 3 (в г):

Эфир 1,2-нафтохинондиазид- (2)5-сульфокислоты и 4,4 -диоксидифенилпропана (т. пл.

120 С; Л=350, 400 нм)

Эпоксидированный циклокаучук (мол. вес 4000; содержание эпоксидных групп 3,6 /о)

Ксилол

Проявитель — ксилол.

Состав 4 (в г):

Эфир 1,2-нафтохинондиазид- (2)5-сульфокислоты и резорцина (т. пл. 159 С; Л=350, 400 нм)

Эпоксидированный циклокаучук (мол. вес 4000; содержание эпоксидных групп 5,3%)

Ксилол

Проявитель — тетрагидрофуран.