Способ получения спеченных фотопроводящих слоев

Способ получения спеченных фотопроводящих слоев

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пп 46648l

Союз Советских

Сониалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 01.12.71 (21) 1725264/23-4 с присоединением заявки М (32) Приоритет

Опубликовано 05.04.75. Бюллетень М 13

Дата опубликования описания 04.12.75 (51) М. Кл. б 03g 5/02

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 771.531(088.8) (72) Авторы изобретения

М. К. Шейнкман, Г. А. Федорус и А. М. Павелец ) .„г1

Институт полупроводников АН Украинской ССР

Ф (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СПЕЧЕННЫХ ФОТОПРОВОДЯЩИХ

СЛОЕВ

Изобретение относится к способу получения спеченных фотопроводящих слоев сульфида, селенида и сульфоселенида кадмия, применяемых в автоматике, оптической электронике и вычислительной технике.

Известен способ получения спеченных фотопроводящих слоев путем приготовления водной суспензи и мелкодисперсного порошка сульфида, селенида или сульфоселенида кадмия, плавня хлорида кадмия и соли металла— активатора, например меди, серебра, с последующим нанесением ее на подложку, высушиванием, отжигом и охлаждением слоя в ограниченном объеме воздуха.

Однако известным способом нельзя получить воспроизводимые высокофоточувствительные слои с заданными фотоэлектрическими параметрами, поскольку не учитывается необходимость подбора концентрации плавня хлорида кадмия в точном соответствии с концентрацией металла — активатора и влияние кислорода воздуха, в котором отжигаются слои, на фотоэлектрические параметры последних.

Цель изобретения — получение воспроизводимых высокофоточувствительных слоев с заданными фотоэлектрическими параметрами— достигается тем, что используют суспензии, содержащие 5 10 — 2 — 3 10 — моль плавня хлорида кадмия и 2 10 — " — 1,5 10 — г-атом меди или серебра на 1 моль исходного порошка прп постоянном соотношении между ними, а отжиг и охлаждение слоя ведут при концентрации хлорида кадмия 1 10 — " — 2 10 4 г/см or5 раниченного объема.

Соотношение между концентрациями плавня хлорида кадмия и металла-активатора предпочтительно равно 2 10 †— 2,5.10- .

Отожженные слои обычно охлаждают в темlo ноте в ограниченном объеме воздуха со скоростью 90 — 100 С/мин.

В указанных условиях получают качественно спеченные, механически прочные, хорошо сцепленные с подложкой фотопроводящие

15 слои, обладающие высокой фоточувствительностью (р,/р,р — 10 — 10 ) ..

Другие характеристики спеченных слоев (спектральное распределение фототока, инерционность, холловская подвижность электро20 нов, температурный коэффициент фототока) зависят не только от соотношения, но и от абсолютных значений концентраций легирующих примесей (хлорпд кадмия и металл-активатор) .

25 Для получения воспроизводных слоев контролируют величину объема, в котором отжигают и охлаждают слои. Величину объема выбирают в зависимости от состава легирующих примесей и общего веса отжигаемых слоев

30 таким образом, чтобы первоначальное количе466481

Предмет изобретения

Составитель Л. Иванова

Текред Е. Подурушина Корректор В. Брыксина

Редактор T. Шарганова

Заказ 3125/9 Изд. № 632 Тираж 559 Подписное

ЦНИИПИ Государствс1шого комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ство плавня лорнда кадмия, входящес в состав отжигаемого слоя, составляло 1 10 — .—

2 10 — * г на 1 см объема.

При от>киге в процессе спекания слоев плавень хлорида кадмия испаряется, кроме того, образуются продукты окисления основного материала порошка, поэтому атмосфера над слоями состоит в основном пз газообразного хлорида кадмия.

Контроль состава атмосферы и режима охлаждения слоев позволяет контролировать влияние кислорода на формирование фотоэлектрических свойств слоев, что повышает воспроизводимость параметров слоев до 90—

i 00 /о.

Пример. Суспензию 100 r порошка сульфида кадмия, 15 г плавня хлорида кадмия и

55 мг азотнокислого серебра в 400 мл воды наносят пульверизатором на ситалловую пластинку до желаемой толщины слоя, высушивают, взвешивают, рассчитывают содержание плавия хлорида кадмия в слое, отжигают

10 мин при б00 С в ограниченном объеме, обеспечивающем концентрацию хлорида кадмия 1 ° 10 — " — 2 10 — 4 г/см объема, и охлаждают в темноте со скоростью 90 — 100 С/мин в том же объеме.

1. Способ получения спеченных фотопроводящих слоев путем приготовления водной сус5 пензии мелкодисперсного порошка сульфида, селенида илп сульфоселенпда кадмия, плавпя хлорида кадмия и соли металла-активатора, например меди, серебра, нанесения ее на подложку, высушивания, отжига и охлаждения

10 в ограниченном объеме воздуха, о тл и ч а ющи и ся тем, что, с целью получения воспроизводимых высокофоточувствительных слоев с заданными фотоэлектрическими параметрами, используют суспензии, содержащие 5. 10 — —

15 3.10 †моль плавня хлорида кадмия и 2 10-4—

1,5 10 г-атом меди или серебра на 1 моль исходного порошка при постоянном соотношении между ними, а отжиг и охлаждение слоя ведут при концентрации хлорида кадмия

О 1 ° 10 —" — 2 10 — 4 г/см ограниченного объема.

2. Способ по п. 1, отлич а ющийся тем, что соотношение между концентрациями плавня хлорида кадмия и металла-активатора равно 2.10 — 2,5 10- .

25 3. Способ по п. 1, отл ич а ю щий ся тем, что слои охлаждают в темноте в ограниченном объеме воздуха со скоростью 90—

100 С/м и н.