Вакуумная установка для нанесения покрытий

Вакуумная установка для нанесения покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

O ll H C A H H

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Саюа Советских социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25.07.69 (21) 1353588/22-01 (51) М. Кл."

С 23С 13/08 с присоединением заявки„.-№ (23) Приоритет

Гоаударстеенный комитет (43) Опубликовано 28.02.79. Бюллетень № 8 (45) Дата опубликования описания 28.02.79 ло делам изобретений н открытий (53) УДК 621.793.14. .002.51 (088.8) (72) Авторы изобретения О. M. Бонд,аренко, P. К. Биктагиров, А. Ф. Коньков, М. П. Окунас, П. М. Подвигалкин, К. П. Страздас, А. Ш. Шайхутдинов и А. Б, Янкаускас (71) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для нанесения электрофотографических слоев.

Известна вакуумная установка для нанесения покрытий, например электрофотографических слоев, на пластины, содержащая откачнув систему, рабочую камеру, испаритель, держатель пластин и привод вращения держателя.

Однако в известной установке нерацио- 1р нально используется объем камеры вследствие того, что равномерность толщины покрытия достигается за счет увеличения расстояния от покрываемой поверхности до испаритсля, и это приводит к низкой произ- 15 водительности установки.

Цель изобретения — увеличение производительности установки и улучшение равномерности толщины наносимого покрытия.

Предлагаемое устройство отличается тем, что оно снабжено механизмом прерывистого вращения держателя пластин и механизмом изменения угла раствора обрабатываемых пластин, при этом успаритель снабжен сменным соплом, а держатель пластин Bbtполнен в виде жестко связанных осью двух параллельных дисков, на которых веерообразно и с возможностью вращения установлены направляющие, нижние из которых кинематически связаны с механизмом измене- 30 ния угла раствора. Последний выполнен в виде кинематически связанных ролика и кулачков, жестко укрепленных на направляющих.

На фиг, 1 представлена предлагаемая установка, общий вид; на фиг. 2 — разрез

А — А фиг. 1, В вакуумной камере 1 установки на плите 2 установлены: механизм прерывистого движения, содержащий подпружиненный палец 3, укрепленный на диске 4 с вырезом, который крепится на ведущем валу 5; кронштейн 6 с роликом 7; испаритель 8 со сменным соплом 9, которым достигается необходимое распределение молекулярного потока испаряемого вещества; держатель пластин, который выполнен в виде жестко связанных осью 10 двух параллельных дисков 11, на которых веерообразно и с возможностью вращения укреплены направляющие 12 пластин, в пазы которых вставляются покрываемые пластины. Нижние направляющие 12 жестко связаны с кулачками 13, которые удерживаются в положении равновесия пружинами 14. Пружины 14 обеспечивают равновесный угол раствора между направляющими 12, равный а, зависящий от числа направляющих 12.

При вращении ведущего вала 5 один из роликов 15, укрепленных на диске 11, вхо467641

«13 0 11 м 1 I FI 1 I :3 0 «3 j) c. 1 0 и и я

7b 17 Фр 7

Составитель А. Коньков

Редактор Т. Колоднева Техред H. Строганова Корректоры: И, Позняковская и О. Тюрина

Заказ 1150 2 Изд. № 250 Тираж 1138 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, >К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 дит в вырез па диске 4. Палец 3 входит в зацепление с роликом 15 и поворачивает диски 11 на определенный угол, при этом ролик 1б, укрепленный на неподвижной платформе 17, разворачивает два соседних кулачка 13, а следовательно, и направляющие пластин на дополнительный угол Ло3, вследствие чего угол раствора между направляющими 12 увеличивается на угол, равный 2Ли, и становится равным а+2Ла.

Угол Ла дополнительного разворота направляющих 12 определяется положением ролика 1б по отношению к кулачкам 13, которое может регулироваться передвижением оси ролика 1б. При дальнейшем повороте ведущего вала 5 ролик 7 выводит палец 3 из зацепления с роликом 15 и диск

11 останавливается. Это положение фиксируется диском 4, находящимся между роликами 15.

Соотношение фаз покоя и поворота зависит от соотношения диаметров диска 4, роликов 15 и диаметров центров осей роликов

15. Длительность фаз покоя и поворота определяется скоростью вращения веду1цсго вала 5.

1. 1>я!«уk 311! я H ус 1 аl повея дг! H ияпсссппя покрытий, например селсновых электрофо5 тографических слосв, на пластины, содержащая откачну10 систему, рабочую камеру, испаритель, деря«атель пластин и привод вращения держателя, отличающаяся тем, что, с целью !овышсппя производительности и улучшения равномерности толщины наносимого покрытия, она снабжена м сха низ мОм пРсР>1>! ВпстОГО 13PFI lltcIIIIH дс1) жаТС, 111 II:!АЙ!0 Г!1П1>1 П М . «FI II I!3 1>!«131 ИЗМСПСIIHSI VI ла раствора обрабатываемых и;!яс!ип, прп

15 этом испаритсль снаб>!«сн сменным соплом, а держатель пластин выполнен в и!дс жсстк0 связа!шых осью двух параллельных дисков, па которы.: вссрообразпо и с возможностью вращения установлены направляющие, ниукние из которых кинсматичсски связаны с механизмом изменения угля pacTI30p а.

2. Установка 110 и. 1, отл и ч я ю щя я с я тем, что механизм изменения угла раствора

25 выполнен в виде кипсматичсски связанных ролика и кулачков, жестко укреплен!!ых на направляющих.