Способ получения растра пучка заряженных частиц

Способ получения растра пучка заряженных частиц

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

,l

« I

О П И 1""А "Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (н) 469Б9

Са)аз Советских

Сациалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.04.71 (21) 1642995/26-25 с присоединением заявки № (51) Ч. Кл. Н 01j 1, 00

Совета Министров СССР па делам изобретений и открытий (53) УДК 621.384(088.8) Опубликовано 30.04.75. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 09.07.75 (72) Авторы нзобретеш(я

Г. А. Богдановский, Г. Г. Дутов, Л. Н. Малахов и А. И. Дутов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РАСТРА ПУЧКА

ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

ГасУдаРственный комитет (23) Приори те г

Изобретение относится к области электровакуумных приборов и может быть применено для получения растра в электронно-лучевых приборах.

Известны электронно-оптические способы фокусировки и развертки электронного зонда, которые реализуются в системах с пространственно разделенными электронно-оптическими элементами. При этом, если фокусирующий элемент — линза предшествует отклоняющей системе перед плоскостью изображения, то в системе нельзя получить малый рабочий отрезок и большое уменьшение источника, как это имеет место в кинескопах. Если же линза расположена между отклоняющей системой и плоскостью изображения, то размытие зонда и искажения растра, обусловленные, главным образом, сферической аберрацией, ухудшают качество растра и сильно ограничивают поле зрения. В фокусирующе-отклоняющих системах передающих телевизионных трубок, где фокусирующая система расположена над отклоняющей системой, на краю поля зрения возникает изменение нормальной составляющей скорости электронов в несколько вольт.

Цель изобретения — уменьшение диаметра зонда и дисто рсии раствора в плоскости изображения, а также повышения мобильности управления раствором.

Для этого фокусировку и развертку пучка осуществляют одновременно, причем через квадрупольный дублет одновременно пропускают постоянный ток для фокусировки пучка и переменный ток — через первый квадруполь для развертки пучка и через второй квадруполь для свертки растра.

На чертеже изображена одна из возможных схем прибора, осуществляющего предлагаемый способ.

Схема содержит первый квадруполь 1, второй квадруполь 2 электронную пушку (источник электронов) 3, меридиональные обмотки 4 квадруполей, сагиттальные обмотки 5 квадруполей, магнитопроводы 6 квадруполей, 1 плоскость изображения 7, электронный пучок

8, главную траекторию 9 электронного пучка.

При подаче на квадруполи 1 и 2 постоянного напряжения пучок 8, выходящий из электронной пушки 3, фокусируется квадруполь20 ным дублетом в плоскости изображения 7.

При этом главный луч пучка совпадает с оптической осью фокусирующего дублета. Плоскость чертежа является рассеивающей плоскостью для квадруполя 1 и собирающей пло25 скостью для квадруполя 2. При подаче на одну или обе пары катушек квадруполя отклоняющего тока, что соответствует уменьшению тока в одной катушке и одинаковому увеличению тока в противоположной катушке той

30 же пары, фокусирующие свойства квадруполя

Составитель Н. Алик!Ова

Тсхред Е,. Пад,рув!ина

Корре:.-!ор H. Стельмах. еда то F!. услад,! 2 1 .,55 Тира>к 833 Под !с!!ое

ЦИИИПИ Государстве!!!!ово комитета Совета Министров СССР по;!сл::. .! изопрстсв. !! и о скра! i !!1!

Мссква, Ж-35, Раушскан нао., д. 4/5

Т!!!!о!расри.", пр. С":пуисва, 2 в параксиальном приближении не меняются.

Поэтому, подавая переменный отклоняющий ток на обмотки квадруполя 1, получают в плоскости изображения 7 сфокусированный сканирующий пучок. При этом формат растра, определяемый амплитудой переменного отклоняющего тока в квадруполе 1, изменяется совместным фокусирующим действием постоянных полей квадруполей 1 и 2. Это изменение исправляют подачей на катушки 4 и 5 квадруполя 2 помимо фокусирующего постоянного тока переменных отклоняющих токов с соответственно выбранными амплитудами. Выбором соотношения амплитуд отклоняющих токов, подаваемых на обмотки квадруполей

1 и 2, осуществляют управление растром, а именно форматом растра и сверткой растра.

Например, получают свертку растра в действительной точке оси пространства изображения, или получают телескопическую развертку, при которой главная ось траектории 9 пучка в пространстве изображений в каждый данный момент времени остается параллельной оси системы. Независимо от характера развертки электронный пучок остается сфокусированным в плоскости изображения 7.

Практически способ может быть осуществлен как в системе из двух магнитных квадруполей, так и в системе из электростатических квадруполей.

Совмещение фокусировки и отклонения обеспечивает получение зонда и растра с параметрами лучшими, чем в системах, где фокусировка и отклонение пространственно разделены как для коротких, так и для длинных рабочих отрезков.

Предмет изобретения

Способ получения растра пучка заряженных частиц, основанный на фокусировке и

15 развертке пучка с помощью квадрупольных электронно-оптических элементов, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью уменьшения диаметра зонда и дисторсии растра в плоскости изображения, а также повышения мобильности уп20 равления растром, фокусировку и развертку пучка осуществляют одновременно, причем через квадрупольный дублет одновременно пропускают постоянный ток для фокусировки пучка и переменный ток — через первый квад25 руполь для развертки пучка, а через второй квадруполь для свертки растра.