Устройство для вращения,вертикального перемещения и взвешивания слитка,вытягиваемого из расплава по способу чохральского

Устройство для вращения,вертикального перемещения и взвешивания слитка,вытягиваемого из расплава по способу чохральского

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВРАЩЕНИЯ, ВЕРТИКАЛЬНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ И ВЗВЕШИВАНИЯ СЛИТКА, ВЫТЯГИВАЕМОГО ИЗ РАСПЛАВА ПО СПОСОБУ ЧОХРАЛЬСКОГО, включающее держатель слитка, ггодвешенный на тяге, проходящей в полости штока и передающей усилие на тензоэлементы, отличающееся тем, что, с целью увеличения точности измерения веса слитка, тяга выполнена в виде упругой нити, шарнирно связанной с тензоэлементами, которые помещены в неподвижно установленный корпус, а верхний конец штока введен в корпус с тензоэлемен— тами при помощи подшипника.Г^^^ ,^'/«(Лс:•^^4^О5;о ю00ел

».»в» а я

t и. и 1; ч «о .-„ ьй1 ен» »,-- »

r»cubi бибя;я (ен- ц - д

>1 i

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

4(g)) С 30 В 15/30, 15/28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

AO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 1813867/23-26 (22) 21.07.72 (46) 07.05,85. Бюл. Р 17 (72) В.А. Сухарев, К.А. Кузьминов, В.С. Лейбович, В.В. Батюков, А.В. Жадан и 10.С. Нагорнов (71) Подольский химико-металлургический завод (53) 669.046-172(088.8) (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВРАЩЕНИЯ, ВЕРТИКАЛЬНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ И ВЗВЕШИВАНИЯ СЛИТКА, ВЫТЯГИВАЕМОГО ИЗ РАСПЛАВА ПО СПОСОБУ ЧОХРАЛЬСКОГО, включающее держатель слитка, подвешенный на тяге, проходящей в полости штока и передающей усилие на тензоэлементы, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения точности измерения веса слитка, тяга выполнена в виде упругой нити, шарнирно связаннои с тензоэлементами, которые помещены в неподвижно установленный корпус, а верхний конец штока введен в корпус с тензоэлементами при помощи подшипника.

469285

Редактор П. Горькова Техред Т.Маточка Корректор А. Тяско

Заказ 2820/3 Тираж 357 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к области выращивания полупроводниковых материалов, в частности, может быть использовано при выращивании монокристаллов по способу Чохральского.

Известно устройство для вращения, вертикального перемещения и взвешивания слитка, в котором держатель слитка подвешен на тяге, проходящей в полости штока и передающей усилие 10 на тензоэлементы. Тензоэлементы вра» щаются вместе со штоком и соединены с контрольно-регистрирующей аппаратурой через вращающиеся контакты, поэтому полезные сйгналы значитель- 15 но зашумйены помехами (до 257. по амплитуде) ог термо-ЭДС, наводимой в результате трения неподвижных контактов:о вращающиеся контактные кольца. 29

Целью изобретения является разработка устройства, позволяющего устранить указанные выше помехи контроля и регулирования технологических параметров за счет исключения применения скользящих контактов для передачи сигналов с устройства на тенэоэлементы.

Для этого тяга, на которой подвешен держатель слитка, выполнена в виде упругой нити, шарнирно связанной с тензоэлементами, помещенными в неподвижно установленный корпус, а верхний конец штока введен в корпус при помощи подшипника.

На чертеже приведена функциональная схема устройства.

Устройство для вращения, вертиЪ кального перемещения и взвешивания слитка включает полый шток 1 в герметичной камере 2 с приводами 3 вращения и перемещения, упругую нитьтягу 4, проходящую в полости охлаждаемого штока, на которой подвешен держатель 5 слитка, устройство 6 для взвешивания кристалла, расположенное . вне зоны действия высоких температур.

Верхняя часть тяги 4 закреплена в подшипнике ? качения, внешняя неподвижная обойма которого непосредственно соединена с устройством 6 взвешивания, расположенным в герметичном корпусе 8. На вращающемся штоке 1, имеющем уплотнение 9, установлен радиальный шарикоподшипник 10, внешние неподвижные обоймы которого закреплены в корпусе 8. Вертикальная направляющая 1 1 исключает вращательное движение корпуса 8. На тяге 4 подвешен держатель 5 слитка. Вращение слитку 12 передается от штока 1 через наконечник 13 держателя 5. Для свободного перемещения держателя слитка в вертикальном направлении наконечник 13 имеет прорези, в которых свободно перемещается штифт 14.

Работа устройства состоит в следующем. Вращение от штока 1 передается через наконечник 13 слитку 12.

Подшипник 7 качения, радиальный шарикоподшипник 10 и вертикальная направляющая 11 исключает вращательное движение устройства 6 взвешивания, находящегося в корпусе 8 относительно герметичной камеры.