Устройство для юстировки ионного источника

Устройство для юстировки ионного источника

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ (») 470 012

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнитсльпос к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.11.73 (21) 1974253i26-25 (51) М. Кл. H 01j 3 04 . присоединением заявкп №

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 05.05.75. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 08.08.75 (53) УДК 621.387.424 (088.8) (72) Автор изобретения

И. Ф. Малышев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ 1ОСТИРОВКИ ИОННОГО

ИСТОЧ Н ИКА

Известны параллелограммные механизмы перемещения для юстировки ионного источника. Эти механизмы имеют сложную конструкцию, поскольку содержат скользящие или подшипниковые пары в шарнирах. Наличие шарниров, кроме того, приводит к возникновению «свободного хода» в механизме и неточности установки источника.

Цель изобретения — упрощение конструкции устройства ц повышение точности установки источника ионов.

Поставленная цель достигается за счет того, что рычаги параллелограмма выполнены в виде плоских упругих элементов, а регулировочные механизмы установлены независимо: один между промежуточной и опорной платформами, а другой — между промежуточной и несущей платформами.

На чертеже показано предложенное устройство.

Устройство для юстировкн ионного источника содержит опорную платформу 1, являющуюся основанием источника ионов. Собственно источник закреплен на несущей платформе 2 на штанге 3. Несущая платформа имеет две степени свободы перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях, Промежуточная подвижная платформа 4, имеющая одну степень свободы перемещения, связана с помощью двух упругих элементов 5, расположенных по обе стороны от штанги, с основанием и с помощью аналогичных двуx элементов — с несущей платформой. Упругие элементы соединены с платформами жестко (сваркой пли пайкой).

Регулировочные механизмы 6 и 7, служащие для взаимно перпендикулярного независимого перемещения штанги источника, расположены: один — между опорной и промежуточной

10 платформами, другой — между промежуточной и несущей платформами.

Устройство работает следующим образом.

При работе регулировочного механизма 7 платформа 2 перемещается относительно про15 межуточной платформы 4 и, следовательно, относительно опорной платформы 1. Прп этом штанга источника ионов перемещается в одном из направлений.

При работе регулировочного механизма 6

20 промежуточная платформа 4 перемещается относительно опорной 1 и, следовательно, происходит перемещение платформы 2 и штанги источника в другом, перпендикулярном по отношению к первому. направлении.

Предмет изобретения

Устройство для юстировки ионного источника, выполненное в виде двойной параллелограммной подвески, содержащее несущую, 30 промежуточную и опорную платформы, ры470012

Составитель В. Ким

Корректор 3. Тарасова

Текред Т. Миронова

Редактор Т. Орловская

Заказ 1873, 18 Изд. № 694 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушскas. наб., д. 4.5

Типография, пр Сапунова, 2 чаги, регулировочные механизмы, о т л и и аю щ ее с я тем, что. с целшо упрощения конструкции и повышения точности, рычаги выполнены в виде плоских упругих элементов, а регулировочные механизмы установлены независимо: один — между промежуточной и опор ной, а другой — между промежуточной и не сущей платформами.