Электролит для прецизионной электрохимической доводки резисторов

Электролит для прецизионной электрохимической доводки резисторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е пц 470556

ИЗОБРЕТЕНИЯ

K АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сацналистическнх

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.01.74 (21) 1986608, 26-21 (51) М. Кл. С 23Ь 9/00

В 0114 3/12 с присоединением заявки №

Государственный комитет (23) Приоритет

Опубликовано 15.05.75. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 26.08,75

Совета йаиннстраа СССР оо делам изобретений (53) УДК 621,3.035.4 (088.8) н открытий (72) Авторы изобретения

Э. И. Матусевич и H. Ф. Коротченко (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОЙ

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ДОВОДКИ РЕЗИСТОРОВ

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибридно-пленочных микросхем.

Известен электролит для прецизионной электрохимической доводки резисторов, включающий дистиллированную воду, фотожелатин, спирт ректификат, глицерин и токопроводящую добавку.

Однако в токопроводящей добавке данного электролита имеется натрий иона (NaqSO4), что ухудшает свойства пленок Та 05, а в некоторых случаях (например, при неполном удалении остатков электролита с поверхности резистора) может вызвать коррозию. Кроме того, данный электролит имеет очень высокую вязкость, что затрудняет заливку его в матрицы для групповой доводки резисторов.

С целью повышения точности получения номиналов резисторов в качестве токопроводящей добавки он содержит лимонную кислоту при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Лимонная кислота 0,1 — 0,3

Фотожелатин 20 — 24

Спирт ректификат 1 — 3

Вода дистиллированная 20 — 25

Глицерин Остальное

- Электролит приготовляют, добавляя в расчетное количество фотожелатина дистиллированную воду и нагревают до тех пор, пока фотожелатин не перейдет в жидкое состояние.

Расчетное количество глицерина нагревают до

100 С, после чего в него добавляют необходимое количество лимîíHîé кислоты и тщательно перемешивают.

Подогретый глицерин с лимонной кислотой вводят тонкой струей в желатин и медленно перемешивают до полного растворения лимонной кислоты. В полученную смесь добавляют спирт ректификат п перемешивают.

Приготовленному электролиту дают отстояться для удаления пузырьков воздуха. Полученный электролит можно вакуумнровать.

В подогретом состоянии электролит разливают

15 в формы, в которых он застывает.

При комнатной температуре электролит представляет собой резинообразную массу.

В застывшем состоянии он легко обрабатывается любым режущим инструментом.

Пример. Для прецизионной подгонки ре- зисторов применяется электролит следующего состава, вес.%:

Лимонная кислота 0,1

Фотожелатин 20

Спирт ректификат l

Вода дистиччированная 20

Глицерин 58,9.

Для доводки одного резистора берут перфорированный металлический электрод (латунь, 470556

Предмет изобретения

Составитель В. Задорожный

Техред Г. Дворина

Корректор Л. Орлова

Редактор Т. Янова

Заказ 1996/18 Изд. № 1438 Тираж 966 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 медь, сталь и др.) с площадью, равной оксидируемой поверхности резистора, и помещают его в форму, например, из фторопласта в виде коробки, после чего заливают подогретым до

90 — 100 С электролитом. После остывания электролита он вместе с электродом прижимается к поверхности резистора пружиной, и подводится ток. Процесс доводки резистора заключается в образовании на его поверхности окисной пленки, вследствие чего толщина металла резистора уменьшается, что приводит к увеличению сопротивления резистора.

По достижении сопротивления резистора нужной величины напряжение выключается и электрод с электролитом поднимается.

Электролит для прецизионной электрохимической доводки резисторов, включающий дис5 тиллированную воду, фотожелатин, спирт ректификат, глицерин и токопроводящую добавку, отличающийся тем, что, с целью повышения точности получения номиналов резисторов, в качестве токопроводящей добавки

10 он содержит лимонную кислоту при следующем соотношении компонентов, вес. :

Лимонная кислота 0,1 — 0,3

Фотожелатин 20 — 24

Спирт ректификат 1 — 3

15 Вода дистиллированная 20 — 25

Глицерин Остальное.