Диэлектрический материал

Диэлектрический материал

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е пц 470872

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 19.07.73 (21) 1951701/26-21 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Оп бликовано 15.05.75. Бюллетень ¹ 18 (51) М. Кл. Н 01g 3 075

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК 621.396.69 (088.8) Дата опубликования описания 22.07.75

ПТ6

Ф5К 3и1РЧ3 (72) Автор изобретснтгя

Д. И. Чернобровкин (71) Заявитель

Куйбышевский ордена Трудового Красного Знамени авиационный институт имени С, П. Королева (54) ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ

Йзобретение относится .к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных конденсаторов для интегральных микросхем.

Известен диэлектрический материал на основе смеси окислов редкоземельных элементов, например иттрия и диспрозия для тонкопленочных конденсаторов.

Недостатками известного диэлектрического материала являются, невысокая электрическая прочность конденсаторов на его основе и низк а я н адеж ность.

С целью повышения электрической прочности конденсаторов в предлагаемом диэлектрическом материале указанная смесь дополнительно содержит окись .гольмия для следующем количественном соотношении исходных компонентов, вес. %:

Окись диспрозия 10 — 20

Окись гольмия 10 — 20

Окись иттрия Остальное.

Использование диэлектрического материала данного состава позволяет получить тонкопленочные конденсаторы с электрической прочностью (3 — 8) 10 В/см. Другие параметpbI конденсаторов не уступают известным HB основе окиси иттрия и диспрозия.

Диэлектрические пленки на основе данной смеси получают методом электронно-лучевого испарения в вакууме плотно спрессованных таблеток из смеси окислов. Обкладками конденсаторов служат пленки алюминия.

Конденсаторы на основе данной смеси окислов, изготовленные по предлагаемому спосо10 бу, обладают повышенным рабочим напряжением.

Предмет изобретения

Диэлектрический материал, преимуществен15 но, для тонкопленочных конденсаторов на основе смеси окислов редкоземельных элементов, например иттрия и диспрозия, отлич а ю шийся тем, что, с целью повышения электрической прочности конденсаторов, ука20 занная смесь дополнительно содержит окись гольмия при следующем соотношении исходных компонентов, вес. :

Окись диспрозия 10 — 20

Окись гольмия 10 — 20

Окись иттрия Остальное.