Травильный раствор

Травильный раствор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

п1 47l402

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соввтскик

Социалистическик

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 02.03.73 (21) 1887879/26-21 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.05.75. Бюллетень ¹ 19

Дата опубликования описания 11.09.75 (51) М. Кл. С 23f 1/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий. (53) УДК 621.794.422. .2 (088.8) (72) Авторы изобретения

М. Х. Ахмадеев, Е. Ф. Дедюхин, М. А. Гисин, О. Д. Караулова и H. С. Санчугова (71) Заявитель (54) ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР

Предмет изобретения

10 — 20

0,5 — 1,2

18,8 — 49.5

Изобретение относится к технологии, в частности к составам для травления тонкослойных покрытий из германия и моноокиси кремния, и может быть использовано при изготовлении оптических тонкослойных покрытий, а такжс в радиоэлектронике и полупроводниковой технике.

Известен травильный раствор, содержащий концентрированную фтористоводородную кислоту, азотную кислоту и воду.

Однако скорость травления покрытий из

I ермания и моноокиси кремния в этом растворе недостаточная.

Целью изобретения является повышение скорости травления.

Для этого раствор дополнительно содержит азотнокислое серебро при следующем соотношении компонентов, вес. о/о: азотная кислота (концентрированная) 40 — 60 фтористоводородная кислота (концентрированная) 10 — 20 азотнокислое серебро 0,5 — 1,2 вода 18,8 — 49,5.

Травление в данном растворе осуществляют при комнатной температуре с последующей промывкой обработанных деталей дистиллированной водой.

Травильный раствор позволяет в течение

0,5 — 1 мин снимать тонкослойные покрытия из германия и моноокиси кремния как со всей поверхности подложки, так и с ее отдельных

5 участков с использованием маски пз фоторезиста, при этом сохраняются оптическая поверхность стеклянных подложек и четкие границы заданного контура рисунка тонкослойного покрытия, 10

Травильный раствор, преимущественно для

15 тонкослойных покрытий из германия и моноокиси кремния, включающий концентрированную азотную кислоту, концентрированную фтористоводородную кислоту и воду, о т л ич а ю шийся тем, что. с целью повышения

20 скорости травления, он дополнительно содержит азотнокислое серебро при следующем соотношении компонентов, вес. о. азотная кислота (концентрированная) 40 — 60

25 фтористоводородная кислота (концентрированная) азотнокислое серебро вода