Травильный раствор
Иллюстрации
Показать всеРеферат
п1 47l402
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соввтскик
Социалистическик
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 02.03.73 (21) 1887879/26-21 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 25.05.75. Бюллетень ¹ 19
Дата опубликования описания 11.09.75 (51) М. Кл. С 23f 1/00
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий. (53) УДК 621.794.422. .2 (088.8) (72) Авторы изобретения
М. Х. Ахмадеев, Е. Ф. Дедюхин, М. А. Гисин, О. Д. Караулова и H. С. Санчугова (71) Заявитель (54) ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР
Предмет изобретения
10 — 20
0,5 — 1,2
18,8 — 49.5
Изобретение относится к технологии, в частности к составам для травления тонкослойных покрытий из германия и моноокиси кремния, и может быть использовано при изготовлении оптических тонкослойных покрытий, а такжс в радиоэлектронике и полупроводниковой технике.
Известен травильный раствор, содержащий концентрированную фтористоводородную кислоту, азотную кислоту и воду.
Однако скорость травления покрытий из
I ермания и моноокиси кремния в этом растворе недостаточная.
Целью изобретения является повышение скорости травления.
Для этого раствор дополнительно содержит азотнокислое серебро при следующем соотношении компонентов, вес. о/о: азотная кислота (концентрированная) 40 — 60 фтористоводородная кислота (концентрированная) 10 — 20 азотнокислое серебро 0,5 — 1,2 вода 18,8 — 49,5.
Травление в данном растворе осуществляют при комнатной температуре с последующей промывкой обработанных деталей дистиллированной водой.
Травильный раствор позволяет в течение
0,5 — 1 мин снимать тонкослойные покрытия из германия и моноокиси кремния как со всей поверхности подложки, так и с ее отдельных
5 участков с использованием маски пз фоторезиста, при этом сохраняются оптическая поверхность стеклянных подложек и четкие границы заданного контура рисунка тонкослойного покрытия, 10
Травильный раствор, преимущественно для
15 тонкослойных покрытий из германия и моноокиси кремния, включающий концентрированную азотную кислоту, концентрированную фтористоводородную кислоту и воду, о т л ич а ю шийся тем, что. с целью повышения
20 скорости травления, он дополнительно содержит азотнокислое серебро при следующем соотношении компонентов, вес. о. азотная кислота (концентрированная) 40 — 60
25 фтористоводородная кислота (концентрированная) азотнокислое серебро вода