Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки

Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 1II) 472397

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25.09.73 (21) 1959716/26-25 с присоединением заявки Ме (23) Приоритет

Опубликовано 30.05.75. Бюллетень М 20

Дата опубликования описания 10.09,75 (51) М. Кл. H Olj 9/38

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений (53) УДК 621.385(088.8) и открытий (72) Авторы изобретения Г. В. Конюшков, О. Ю. Жевалев, В. П. Шумарин, Н. А. Белохвостов, В. С. Украинский и В. Ф. Сафрошкин

Саратовский политехнический институт 1 (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ЗЛ ЕКТРОВАКУУМН ЫХ

ПРИБОРОВ С ПОМОЩЬЮ ЗАГЛУШКИ

Изобретение относится к вакуумной технике и, в частности, к оборудованию для откачки и герметизации электровакуумных приборов (ЭВ11) .

Известно устройство для герметизации ЭВП с помощью заглушки, содержащее печь обезгаживания, откачную систему, высоковакуумную камеру, расположенную внутри печи и герметично соединенную с обрабатываемым прибором, нагреватель, охватывающий герметизируемый участок прибора и заглушку, и механизм перемещения заглушки, установленный внутри высоковакуумной камеры.

Цель изобретения — уменьшить усилие герметизации и снизить величину деформации материала.

Поставленная цель достигается в результате того, что шток механизма перемещения заглушки подви>кно закреплен в высоковакуумной камере с помощью двух коаксиально расположенных сильфонов и снабжен упорами, установленными выше и ниже внутреннего сильфона и взаимодействующими при движении штока с ограничительной втулкой, находящейся в пространстве между сильфонами, а привод штока выполнен в виде двух рычагов, становлснных под углом друг к другу не менее 70 и шарнирно связанных со штоком, соосно расположенным с ним ползуном, размещенным в вакуумной камере, и герметично укрепленным на печи обезгаживания горизонтально расположенным толкателем.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Оно содержит печь обезгаживания 1, систеIp му откачки 2, высоковакуумную камеру 3, располо>кенную внутри печи 1 и герметично соединенную с обрабатываемым прибором 4; нагреватель 5; охватывающий герметизируемый участок прибора и заглушку 6; шток 7 механизма 8 перемещения заглушки 6, подвижно закрепленный в высоковакуумной камере с помощью двух коаксиально размещенных сильфонов 9 и 10 и снабженный упорами

11 и 12, установленными выше и ниже внут20 реннего сильфона 9 и взаимодействующими

IlpH движении штока с ограничительной втулкой 13, находящейся в пространстве между сильфонами.

Привод штока 7 механизма перемещения 8

25 заглушки 6 выполнен в виде двух рычагов 14 и 15, установленных друг к другу под углом не менее 70 и шарнирно связанных со штоком 7, соосно расположенным с ним ползуном

16, размещенныAI в высоковакуумной камере

Зо 3, и герметично укрепленным на печи обезга472397 живания 1 горизонтально расположенным толкателем 17.

Устройство работает следующим образом.

После герметичного сочленения прибора 4 с высоковакуумной камерой 3 печь обезгаживания 1 откачивается системой 2.

Толкатель 17, шарнирно связанный с рычагами 14, 15, обеспечивает перемещение штока 7 и ползуна 16 навстречу друг другу, в результате чего заглушка 6 поднимается вверх и открывает откачное отверстие прибора.

После проведения технологического процесса откачки прибора обеспечивают перемещение штока 7 с заглушкой 6, при этом сильфон

10 растягивается, а сильфон 9 сжимается, причем деформация сжатия сильфона 9 прекращается в момент соприкосновения упора

11 с ограничительной втулкой 13. При дальнейшем движении штока 7 вниз растягивается только сильфон 10.

После осуществления процесса диффузионной сварки заглушки 6 с прибором 4 в печь обезгаживания напускается газ при атмосферном давлении, и она разгерметизируется.

Готовое изделие (прибор) снимается с откачного поста.

Предмст изобрстсния

Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки, содер5 жащее печь обезгаживания, откачную систему, высоковакуумную камеру, расположенную внутри печи и герметично соединенную с обрабатываемым прибором, нагреватель, охватывающий герметизируемый участок прибора

lO и заглушку и механизм перемещения заглушки, установленный внутри высоковакуумной камеры, отличающееся тем, что, с целью уменьшения усилия герметизации и величины деформации материала, шток механизма пере15 мещения заглушки подвижно закреплен в высоковакуумной камере с помощью двух коаксиально расположенных сильфонов и снабжен упорами, установленными выше и ниже внутренного сильфона и взаимодействующими при

2О движении штока с ограничительной втулкой, находящейся в пространстве между сильфонами, а привод штока выполнен в виде двух рычагов, установленных под углом друг к другу не менее 70 и шарнирно связанных со што25 ком, соосно расположенным с ним ползуном, размещенным в высоковакуумной камере, и герметично укрепленным на печи обезгаживания горизонтально расположенным толкателем.

472397

Редактор Н. Коляда

Заказ 2193/10 Изд. Ма 1485 Тираж 833 Подписное

UHHHIIH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Рауьвская наб., д. 4,5

1ипография, пр. Сапунова, 2

Составитель В. Мирошкина

Техред Н. Ханеева

Корректоры: А. Николаева и Л. Корогод