Геттерный насос
Иллюстрации
Реферат
(ii) 472398
ОГ1ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союэ Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06.08.73 (21) 1959823/26-25 с присоединением заявки № (51) М. Кл. Н ОЦ 9/38
F 04b 37/02
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытиИ (53) УДК 621.3.032.94. .621.65 (088.8) Опубликовано 30.05.75. Бюллетень ¹ 20
Дата опубликования описания 10.09.75 (72) Авторы изобретения
С. Н. Домрачев и Д. В. Серебренников (71) Заявитель (54) ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС йасудаРственный комитет (23) 11риоритет
Изобретение относится к вакуумной технике и, в частности, к безмасляным средствам откачки, используемым при изготовлении электронных приборов.
Известный геттерный насос, содержащий охлаждаемый корпус, снабженный входным патрубком для подсоединения к рабочему объему, и размещенные внутри корпуса по его оси испаритель геттерного материала и защитный экран, предохраняющий рабочий объем от попадания молекул геттерного материала, не обеспечивает высокой скорости откачки, так как основное количество геттерного материала напыляется на центральную часть корпуса, а большая часть потока откачиваемого газа попадает на охлаждаемую поверхность в области входного патрубка, в результате чего происходит быстрое насыщение пленки геттера газом и, как следствие, уменьшение скорости откачки и сокращение времени непрерывной работы насоса.
Цель изобретения — повышение быстроты откачки и увеличение времени непрерывной работы насоса.
Для этого испаритель геттерного материала расположен по периметру охлаждаемого корпуса у входного патрубка насоса.
На чертеже схематически изображен предлагаемый насос. Схема включает корпус 1 насоса, систему охлаждения 2, соединительныи патрубок 3, защитный экран 4, предохраняющий рабочий объем от попадания молекул геттерного материала, испаритель 5 гет5 тера, расположенньш по периметру охлаждаемого корпуса 1 у входного патрубка насоса, токовводы 6.
На испаритель 5 через токовводы 6 подается напряжение, обеспечивающее нагрев и рас10 пыление геттера. При этом защитный экран 4 препятствует нрямо»у пролету молекул геттера во входной патрубок 3. Геттер образует на охлаждаемых стенках корпуса 1 пленку, способную сорбировать молекулы газа, npul5 чем толщина пленки уменьшается по мере удаления от входного патрубка 3. Молекулы газа, попадающие внутрь корпуса 1 через входной патрубок 3, поглощаются пленкой геттера.
20 Расположение испарителя геттера по периметру корпуса у входного патрубка насоса позволяет увеличить быстроту откачки насоса, поскольку при этом эффективно используется вся поверхность холодной пленки гет25 тера. Г1ри расположении испарителя у входного патрубка насоса распределения толщины пленки геттера совпадает с распределением количества откачиваемого газа по длине насоса, что приводит к увеличению времени непрсЗО рывной работы насоса.
472398
Предмет изобретения
Составитель В. Мирошкина
Техред Н. Ханеева
Редактор Н. Коляда
Корректоры: А. Николаева и Л. Корогод
Заказ 2193/11 Изд. ¹ 1485 Тираж 833 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобрстений и открытий
Москва, K-35, Раушская наб., д. 4,5
Типография, пр. Сапунова, 2
Изобретение позволяет по расчетным данным увеличить быстроту откачки насоса на
20%, а продолжительность работы насоса при номинальной быстроте откачки после однократного испарения геттера в 1,5 раза.
Геттерный насос, содержащий охлаждаемый корпус, снабженный входным патрубком для
4 подсоединения к рабочему объему, и размещенные внутри корпуса испаритель геттерного материала и защитный экран, предохраняющий рабочий объем от попадания молекул
5 геттерного материала, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки и увеличения времени непрерывной работы насоса, испаритель геттерного материала расположен по периметру охлаждаемого корпу10 са у входного патрубка насоса.