Дозатор гомогенной парогазовой смеси

Дозатор гомогенной парогазовой смеси

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О п И С А Н И Е ц 473903

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (G1) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 11.06.73 (21) 1941562 18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

Опубликовано 14.06.75. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 23.12.75 (51) Ч.Кл. G Olf 11/28

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 681.121. .08(088.8) (72) Авторы изобретения

И. П, Канорушкин, 1О. И. Прохоров и A. А. Осипов (71) Заявитель (54) ДОЗАТОР ГОМОГЕННОЙ ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ

Изобретение относится к устройствам для дозирования гомогенной паровой или парогазовой смеси, преимущественно к испаритслям и дозаторам (паровой) парогазовой смеси, применяемым на операциях высокотемпературной обработки в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известен дозатор гомогенной парогазовой смеси, содержащий резерву.ар с реагентом, нагреватель, размещенный во внутренней трубке, систему регулирования температуры, камеру испарения с патрубками.

В предложенном дозаторе камера испарения образована двумя эксцентрично расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного поперечного сечения капиллярный зазор вдоль трубок, Такая конструкция дозатора позволяет автоматизировать процесс дозирования парогазовой смеси и исключить влияние температуры подаваемого газа на расход реагента и состав парогазовой смеси.

На чертеже изображен предложенный дозатор.

Дозатор гомогенный парогазовой смеси состоит из резервуара 1 с реагентом, нагревателя 2, системы регулирования 3, камеры испарения 4 с входным и выходным патрубками 5 и 6. Камера испарения 4 образована между двумя жестко закрепленными трубками разного диаметра, причем внутрення.. трубка 7 свободно лежит на внутренней поверхности наружной трубки 8 в нижней ее части, а в верхней части ооразустся камера испарения 4, Благодаря тому, что трубки 7 и 8 смещены относительно друг дрi ra»a определенную величину эксцентриситета, вдоль внутрепнеи поверхности наружной трубки 8 и на ружной поверхности внутренней трубки 7

)p области пх соприкосновения образуется горизонтально расположенный щелевоп капиллярный зазор а. Щслевой капиллярный зазор в поперечном сечении имеет переменный зазор — переменное расстояние между указан ными поверхностямп трубок 7 и 8 при удалении от линии их соприкосновения. Щелевой капиллярных зазор соединен с верхним концом цилиндрического капилляра 9, перпендп кулярно расположенного по отношению к щс

20 левому капиллярному зазору а и изготовленного в нижней части наружной трубки 8. Другой конец капилляра 9 помещен в резервуар с реагептом.

Дозатор работает следующим образом.

В резервуар заливается реагент, который поднимается по вертикальному капилляру 9

3а счет спл поверхностного натяжения (капиллярных сил), попадает в горизонтальный щелевой капиллярный зазор а и заполняет зп его вдоль всей поверхности длины на высоту, 473903 определяемую соотношением диаметров трубок 7 и 8. Реагент находится в щелевом капиллярном зазоре в виде тонкого слоя досга. точно большой площади и небольшого объема, распределенного по всей длине горизонтальных трубок 7 и 8 и нагревателя 2.

При подаче электрической мощности на нагреватель 2 достигается определенный температурньш режим, что способствует быстрому разогреву и испарению реагента; в то же время происходит автоматическая подача дополнительной порции реагента в щелевой капнллярный зазор из резервуара по каналу капилляра. Такой процесс «подпитки» идет непрерывно за счет сил поверхностного натяжения.

Для получения парогазовой смеси в камеру испарения 4 подается газ через патрубок 5. Газ, проходя между нагретыми внутренней и наружной трубками 7 и 8, прогревается до температуры, несколько превышающей температуру. паров реагента. Поэтому смешение паров реагента с газом и образова4 пие смеси происходит в условиях, близких к изотермическим, что способствует точности дозирования расхода парогазовой смеси. Выравнивание температур паров реагента и газа предотвращает также образование конденсата в камере испарения 4 и патрубках 5 и 6.

Предмет изобретен ия

Дозатор гомогенной парогазовой смеси, содержащий резервуар с реагентом, пагреватель, размещенный во внутренней трубке, систему регулирования температуры, камеру

l5 испарения с патрубками, от,гичающийся тем, что, с целью автоматизации процесса дозирования парогазовой смеси и исключения влияния температуры подаваемого газа на расход реагента и состав парогазовой смеси, камера

20 испарения образована двумя эксцентрично расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного поперечного сечения капиллярный зазор вдоль трубок.

473903

Составитель В. Д, Никитин

Тскрсд М. Семенов Корректор T. Добровольская

Редактор Н. Коган

Заказ 5495 Изд. ¹ 1508 Тираж 782 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

МОТ, Загорский Филиал