Электродуговой испаритель металлов

Электродуговой испаритель металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

I

О П И C А Н И Е (и) 474575

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву 297707 (22) Заявлено 02.01.74 (21) 1981023/26-21 (51) М. Кл. С 23с 13/12 с присоединением заявки №

Государствгнный комитет

Совета Министров СССР з девам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 25.06.75. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 26.11.75 (53) УДК 621.793.140.025. .1 (088.8) (72) Автор изобретения

Ф. В. Урьяш (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства изделий электронной техники, радиотехники, приборостроения, в частности, к устройствам для нанесения покрытий в вакууме.

B известном электродуговом испарителе металлов по авт. св. № 297707 при испарении некоторых тугоплавких металлов наблюдаются включения в пленку металлического покрытия отдельных мелких частичек металла. Появление этих частичек обусловлено разбрызгиванием испаряемого расплавленного металла вблизи границы раздела жидкий металл— стержень.

Предлагаемый испаритель, с целью исключения разбрызгивания при испарении металлов с повышенной теплопроводностью и улучшения качества покрытий, снабжен дополнительным кольцевым электродом, расположенным концентрично оси дуговых электродов.

На чертеже приведена схема предлагаемого испарителя.

Испаритель содержи вертикальный дуговой электрод 1, расплавленную каплю 2 металла, дополнительный изолированный электрод 3 с отверстием, дуговой электрод 4 с полостью и поджигающий электрод 5.

Испаритель работает следующим образом.

При прохождении тока через дуговой промежуток конец электрода 1 нагревается и расплавляется с образованием капли 2. Так как ток через дуговой промежуток в вакууме обеспечивается, в основном, электронной компонентой, дополнительный изолированный электрод 3 заряжается отрицательно, создавая дополнительно электрическое поле, направленное от кольца к стержню с каплей, имеющего

10 в этот момент положительный потенциал.

Электроды, летящие от дугового электрода 4, захватываются дополнительным электрическим полем и со всех сторон равномерно нагревают каплю-стержень, что исключает обрай зование брызг при испарении и обеспечивает улучшение качества получаемых покрытий.

Электродуговой испаритель металлов по авт. св. № 297707, отличающийся тем, что, с целью исключения 1еазбрызгивания при испарении металлов с повышенной теплопро25 годностью и улучшения качества покрытий, он снабжен дополнительным кольцевым электродом, расположенным концентрично оси дуговых электрозов.

474575

Составитель Т. Богдалова

Редактор А. Батыгии Техред М. Семенов Корректоры: А. Николаева и Л. Корогод

Заказ 2816/4 Изд. № 931 Тираж 966 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2