Диэлектрический материал
Иллюстрации
Показать всеРеферат
;с
t с
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
<»>474855
Юоюа Советских
Социалистических
Республик (61) До полнительное к авт. сэид-ву— (22) Заявлено 19.07.73 (21) 1951682/26-21 (51) М. Кл. Н 01Ь 3/10
Н О! g 3/075 с присоединением заявки— (23) Приоритет—
Опубликовано 25.06.75. Бюллетень ¹ 23
Дата опубликования о:писания 14. !0.75
Государственный комитет
Совета Министров СССР (53) УДК 621.396.69 (088.8) по делам изобретений и открытий
Д. И, Чернобровкин (72) Автор изобретения (71) Заявитель
Куйбышевский ордена Трудового Красного Знамени авиационный институт им. акад. С. П. Королева (54) Д ИЗЛ ЕКТР И Ч ЕСКИ и МАТЕРИАЛ
Изобретен Ie относится к технологии производства радиоэлектронной аппаратуры и может быть использовано преимущественно при изготовлении тонкопленочных конденсаторов для ми кросхезг.
Известен диэлектрический материал, используемый при изготовлении тонкопленочных конденсаторов, который содержит смесь огкислов редкоземельных металлав, в качестве одного из которых использована окись неодима.
Целью изобретения является повышен:Ic электрической прочности и диэлектрической проницаемости.
По"тавленная цель достигается тем, что в качестве второго окисла использована окись самария при следующем количественном соотношении исходных компонентов (вес. % ) . окись неодима 70 — 80, окись самария 20 — 30.
Для изготовлеиия тонкопленочных,конденсаторов диэлектрические пленки получают методом электроннолучевого испарения в вак,увге плотно спрессованных таблеток пз смеси окислов, содержащей 75 вес. % огоиси неодима и 25 вес. % окиси самария. Обкладками конденсаторов служат пленюп алюмин;të.
Использование материала предлагаемого
5 состава позволяет повысить электрическую прочность и диэлектрическую проницаемость и получить конденсаторы с удельной емкостью более 0,25 .якф сл, электрической прочностью до 6. !О в ся и величиной тангенса угла диэлектрических потерь до 1 . 10
Предмет изооретения
Диэлектрический материал, преимущественно для тонкопленочных конденсаторов, содержащий смесь окислов редкоземельных металлов, в качестве одного из которых испо Iüзована окись неодима, от.гинающнйся тем, что, с целью повышения электрической прочности и диэлектрической проницаемости, B качестве второго окисла,использована окись самария при следующем количественном соотношении
I сходных компонентов (вес. %):
Окись неодима 70 — 80
25 Окись самария 20 — 30