Устройство для вакуумного напыления слоев

Устройство для вакуумного напыления слоев

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

пп 475428

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.06.72 (21) 1803308, 23-26 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.06.75. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 16.09.75 (51) М, Кл. С 23с 15/00

В Olj 17/30

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 539.231.621.315. .592 (088.8) (72) Авторы изобретения В. Г. Поннель, И. С. Зафранский, С. С. Богданов и Ю. В. Бараш (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ СЛОЕВ

Изобретение относится к вакуумному напылительному оборудованию, которое применяется в установках напыления материалов, например полупроводниковых, металлических или диэлектрических слоев.

Известна установка для вакуумного напыления материалов, имеющая камеру напыления, которая содержит карусель с помещаемыми на ней подложками, вращаемую над испарителями. Непременным условием качест- 10 венного напыления в вакууме является экранировка испарителей в .первой стадии напыления, чтобы окислы и загрязнения испаряемого материала не летели на подложки.

В известном устройстве механизм экрани- 15 ровки испарителей выполнен в виде заслонки, поворачиваемой рычагом относительно оси, проходящей через вакуумное уплотнение в камере, и управляемой извне электромагнитным приводом. 20

Однако для такого механизма необходимы специальный высоковакуумный ввод и система электромагнитного привода с блоком питания.

Кроме того, узел перемещения заслонки (рычаги, фиксаторы, направляющие, зубчатые пе- 25 редачи) сложен и громоздок.

Цель изобретения — упрощение конструкции.

Достигается это тем, что на валу, снабженном реверсивным приводом, по скользящей 30 посадке установлена втулка с укрепленной на ней заслонкой, для фиксации которой камера снабжена упорами.

На чертеже схематически изображено прсд",0æåHíoå устройство.

Оно содержит камеру 1 напыления, карусель 2 с подложками, заслонку 3, реверспвный привод 4 карусели, втулку 5, установ.пенную по скользящей посадке на валу 6 карусели с подложками, испарители 7 и 8 и упоры 9.

Устройство работает следующим образом.

Перед началом работы заслонку 3 устанавливают на позиции испарителя 7, работающего первым. После герметизации и вакуумированпя камеры напыления включают питание пспарителя 7 и, выдержав требуемое время для испарения окислов и загрязнений на заслонку 3, включают привод 4 вращения карусели с подложками, которая через вал 6 поворачивает заслонку до упора 9, открывая работающий испаритепь. Заслонка фиксируется упором над вторым испарптелем 8.

При работе второго испарптеля для перевода заслонки в первоначальное положение необходимо только дать реверсивное вращение карусели с подложками, включив привод 4 на реверс.

Устройство значителbHо проще B конструктивном оформлении по сравнению с известным, так как в нем исключена необходимость

475428

Предмет изобретения

Составитель В. Безбородова

Техред T. Курилко Корректор E. Рогайлина

Редактор Е. Дайч

Заказ 2219/16 Изд. Ко 1559 Тираж 966 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 в специальном высоковакуумном вводе и упрощена система привода и узла, перемещения заслонки.

Устройство для вакуумного напыления слоев, включающее камеру напыления, размещенныс внутри нее карусель с подложками, заслонку для экранировки испарителей и привод, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, на валу карусели установлена по скользящей посадке втулка, заслонка укреплена на втулке, камера снабжена упорами для фиксации заслонки, а привод выполнен реверсивным.