Раствор для травления железоокисных слоев

Раствор для травления железоокисных слоев

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1111 475429

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 04.04.73 (21) 1928776/22-1 с присоединением заявки №

ГосУдаРствекив1й комитет (32) Приоритег

Совета Министров СССР по дела1и иаобретеиии Опубликовано 30.06.75. Бюлле е ь .," 24 (51) М. Кл, С 231 1/04 (53) УДК 621.794.42 (088.8) и открытий

Дата опубликования описания 22.10.75 (72) Авторы изобретения

Ю. И. Кольцов, А. И. Лебедев и Г. С. Тюрин (71) Заявитель (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ )КЕЛЕЗООКИСНЫХ СЛОЕВ

Соляная кислота (уд. вес 1,19) Хлорное железо (кристаллог1 драт) Г1одистый калий

Вода

5

Остальное

Соляная кислота (уд. вес 1,19) Хлорное железо (кристаллогидрат) йодистый калий

Вода

30 — 95

1 — 20

1 — 20

Остальное 25

Изобретение относится к области химической обработки металлов и материалов, в частности к области химического травления железоокисных слоев при изготовлении фотошаблопов. 5

Известен раствор для травления железоОкнсных слоев> содерхкащий соляну(О кислоту и хлорное железо.

Предлагаемый раствор отличается от известного тем, что в его состав введен йодис- 10 тый калий при определенном соотношении компонентов.

Зто способствует повышению качества травления, в частности качества конфигур ационного рисунка фотошаблонов, изготовленных 15 травлением папыленпых железоокисных слоев.

Соотношение компонентов в растворе таково, вес.%:

В данном растворе эффективно производят травление 2келезоокисных слоев для изготовления фотошаблонов, применяемых в фотолитографии. 30

П р и мер. На полированную стекляштую пластшп у напыляют железоокнсный слой толщиной -1000 A. Затем для изготовления конфигурационного рисунка фотошаблона на железоокисный слой накладывают фоторезистовую маску и осуществляют травление незащищенного железоокисного слоя при комнатной температуре в растворе состава, вес. 1,:

Раствор готовят из реактивов марки ЧДА на бидистиллированной воде.

Скорость травления железоокпсного слоя составляет 15 — 20 А — сек. Процесс травления з а вер ш а ется че р ез 50 — 70 се к.

Растворение железоокисного слоя происходит равномерно и не сопровождается подтравлпванием конфигурационного рисунка.

Полученный фотошаблон отличается большим разрешением (ширпна линий -1мкм), высокой четкостью н точностью воспроизведе1гия элементов: клин травления и уход размеров не обнаруживаются (— 0,1 мкм).

475429

Соляная кислота (уд. вес. 1,19) Предмет изобретения

30 — 95

Хлорное железо (кристаллогидрат) Иодистый калий

Вода

Составитель К. Педан

Техред Л, Казачкова

Редактор Е. Шепелева

Корректор Н. Стельмах

Закva 2476/14 Изд. М 1605 Тираж 966 Подписное

ЦНИИПИ Государсгвенного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4, 5

Типография, ир. Сапунова, 2

Раствор для травления железоокисных слоев, содерхкащий соляную кислоту и хлорное железо, отличающийся тем, что, с целью 5 повышения качества травления, в его состав вводят йодистый калий при следующем соотношении компонентов, вес.%:

1 — 20

1 — 20

Остальное