Датчик давления

Датчик давления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (!!) 475526

Союз Советскиз1

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 13.08.73 (21) 1952126/18-10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 30.06.75. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 29.09.75 (51) М. Кл. G Oll 21/22

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.787.21 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. П. Шведов и И. М. Кулешов (71) Заявитель (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к измерительным преобразователям давления.

Известен датчик давления, смонтированный на демпфирующей подложке с клеммами, к которым подсоединены остеклованные проводники гермоввода, а мембранная коробка выполнена с отбортованным жестким краем.

Однако такой датчик не обеспечивает глухую заделку мембраны по контуру ввиду того, что при действии давления на мембрану датчика и соответствующем прогибе последней имеет место прогиб боковой цилиндрической стенки мембранной коробки, выполненной из материала одинаковой толщины. Это существенно ухудшает метрологические характеристики датчика.

Цель изобретения — повышение точности датчика давления.

Это достигается тем, что в предлагаемом датчике крышка снабжена кольцевым выступом, прочно скрепленным с цилиндрической стенкой мембранной коробки, причем размеры по высоте выступа и внутренней части мембранной коробки равны. Выступ имеет фаску, наличие которой сохраняет неизменной эффективную площадь мебраны. Мембрана и кольцевой выступ имеют оптимальные геометрические размеры. Выбор соотношений между диаметром и толщиной мембраны, а также высотой и шириной кольцевого выступа сделан на основании совместного решения уравнений прогибов плоской пластинки и цилиндрической оболочки.

5 Надежная работа датчика при наличии взвешенных строительных частиц обеспечивается недеформируемым перфорированным экраном, выполненным в виде колпачка. Переменная составляющая температурной по10 грешности датчика существенно уменьшена нанесенной на внешнюю сторону мембраны дополнительной стенкой из теплоизоляционного материала.

На чертеже изображен предлагаемый дат15 чик давления.

Он содержит мембранную коробку 1 с теплоизоляционным слоем 2, крышку 3 с кольцевым выступом 4 и защитный экран 5, изготовленные из одноименного материала. Креп20 ление их осуществляется с помощью клея, например, ВК-9. Мембранный тензорезистор 6, наклеенный на внутреннюю сторону мембраны, выполнен в виде единой разомкнутой рамки из монокристалла кремния и собран в мо25 стовую измерительную схему. Электрический вакуумный ввод 7 содержит микропровода B изоляции, закрепленные с помощью клея.

Датчик смонтирован на подложке 8 с клеммами 9.

475526

3 6

Составитель О. Полев

Техред T. Миронова

Корректор А, Дзесова

Редактор E. Караулова

Заказ 2347/2 Изд. ¹ 1587 Тираж 902 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров CCCIз по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раугпская наб., д. 4/5

Типография. пр. Сапунова, 2

Предельная основная погрешность типовой градуировочной характеристики предлагаемого датчика 1%.

Предмет изобретения датчик давления, содержащий цили дрическую мембранную коробку с отбортованпым жестким краем, крышку, тензорезисторы, электрический вакуумный ввод и демпфирующую подложку с клеммами, о тл и ч и ю. щийся тем, что, с целью повышения точности измерений, в нем крышка снабжена кольцевым выступом, на внутренней стороне кото5 рого со стороны мембраны выполнена фаска, при этом высота выступа равна высоте внутренней части мембранной коробки, а ее знутрен яя цилиндрическая стенка жестко связана с выступом крышки.