Датчик квадрупольного масс-спектрометра

Датчик квадрупольного масс-спектрометра

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

пц475685

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства—

i 22) Заявлено 22.10.65 (21) 1033789/26-25 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет— (51) М. Кл. Н Olj 39/34 б 0!п 23/00

Государственный комитет

Соаата Министроа СССР па делам изобретений и открытий! Опубликовано 30.06.75. Бюллетень М 24

Дата опубликования описания 15.07.76. (53) УДК 543.51 (088.8) а- !! i Ь (72) Авторы изобретения (т 1 -". » . ;"!» ет. »» т

М. Л. Любимов и В. И. Сергеев +" 4Ц v"" Д (71) Заявитель (54) ДАТЧИК КВАДРУПОЛЬНОГО МАСС-СПЕКТРОМЕТРА

Изобретение касается масс-спектра lb IIII.î анализа.

Известныс датчики квадрупольного массспектрометра содержат квадруполь из четырех металлических стержней, смонтированный на изоляторах внутри цилиндрического корпуса.

Трудность изготовления этих датчиков заключается в сложности точной центровки стержней квадруполя и источников ионов и в сложности монтажа всей внутренней арматуры в корпусе.

Отличие предложенного датчика в том, что в качестве анализирующей системы использована средняя часть диэлектрической оболочки прибора, выполненная требуемой формы, например крестообразной, с нанесенным на рабочие участки электропроводящим слоем.

Это позволяет увеличить точность центровки и упростить конструкцию.

На фиг. 1 дана принципиальная электрическая схема приоора; на фиг. 2 — продольный разрез датчика; на фиг. 3 — поперечное сечение колбы датчика в области источника ионов (А — А); на фиг. 4 — сечение датчика в области квадруполя (Б — Б); на фиг. 5 — евид IIa цоколь прибора (В).

Выводы электродов квадруполя 1 — 4 присоединены к внешнему ВЧ генератору, который создает на квадруполе высокочастот Ioe поле необходимой частоты и потенпиа Ia.

К выводам 5 и б присоединены соответствующие диафрагмы источника ионов, а к выводам 7 и 8 -- концы катода.

Вывод 9 коллектора ионов присоединен к нпe:.I"..ему усилителю II самопишущему прибор, Вся арматура датчика заключена в стеклянную колбу 10 с патрубком 11 для присоединения к исследуемому объекту.

Колоу прибора изготовляют методом вакуумной калиоровкн таким образом, что ее поперечным сечениям придается различная конфигурация и размеры, которые выдерживаются с высекой точностью.

1> Средняя часть колбы должна иметь поперечное сечение крестообразной формы, образованное четырьмя продольными желобами гипероолического илп цилиндрического профи1, вдавленным внутрь колбы (см. фиг. 4), 20 Концам колбы придают формы точных цилиндрических раструбов, коаксиальных средней ч:,;;. Зтп раструбы предназначены для размеще;шя ионного источника и коллектора ионов.

25 На в .утренние гиперболические или цилиндрические поверхности желобов средней части колбы на участках г — д, e — ж, з — и, к — л, (см. фпг. 4) любым способом, например напыление.;: мета,Iла в вакууме, наносят электропроирозодяп.у;о пленку, имеющую прочную

475685 адгезию к стеклу (на фиг. 2 и 4 показана пунктиром). Эту пленку выводят также HH донышко и переходное закругление большого цилиндрического раструба (фиг. 3), где к ней прижимаются четыре контактные пружинки

12, соединенные с выводами 1 — 4. Промежутки между цилиндрическими поверхностями (д-е, яс-з, и-к, л-г) не имеют проводящего слоя и служат изоляторами между электропроводящими пленками. Таким образом создаются четыре электрода квадруполя и их выводы. Диафрагмы 13 и 14 источника ионов смонтированы на выходной линзе 15, в которой они центрируются и крепятся при помощи керамических изоляторов 16 и 17 и точных заклепок

18. Линза 15 центрируется цилиндрической частью в раструбе колбы па скользящей посадке. Ьлагодаря этому вся система линз устанавливается коаксиально квадрупольной части колбы с высокой точностью.

Линзы соединены проводниками с соответствующими выводами. К двум таким же вводам присоединен катод (вид В).

К цилиндрическому раструбу колбы в области ионного источника припаян ци,".èíäðè÷åский патрубок 11 для присоединения прибора к объекту исследования. Диаметр патрубка должен быть достаточно велик для быстрой откачки внутренней полости колбы. Для облегчения откачки средней части прибора все линзы снабжаются отверстиями 19.

Коллектор ионов, представляющий собой изолированный электрод 20, и заземленный экран 21 размещены в малом цилиндрическом раструбе колбы и присос агнецы соотвегствен5 но к выводам 9 и 9 .

При откачке испытуемого обьекта датчик фильтра масс может бып, обезгажец нагреванием до температуры более низкой чем температура начала размяг гешки стекла. Ilo10 этому колбу необходимо изготогляп пз гугоплавкого стекла с температурой размягчения

700 †8 С.

Линза 15 и экран 21 должны бып. сделаны из металла с коэффициентом теплового рас15 ширения, близким к коэффициенту теплового расширения стекла колбы.

Присоединяют патрубок 11 к объекту испытания любым из известных способов.

Предмет изобретения

Датчик квадрупольного масс-спектрометра, содержащий источник ионов, коллектор ионов, анализирующую систему и оболочку, отличаюи1ийся тем, что, с целью увеличения точности центровки и упрощения конструкции, в качестве анализирующей системы использована средняя часть диэлектрической оболочки прибора, которой придана требуемая форма, например крестообразная, с нанесенным на рабочие участки электропроводягцим слоем, 4?5685

Юг4

Earned

Корректор А. Дзесова Редактор Т. Рыбалова

Заказ 5818 Изд. № 1602 Тираж 833 Под,всвое

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Обл. тнп. Костромского управления издательств, полиграфии и книжной торговли

Фиг о

Bud 8

Составитель Н. Катииова

Техред Т. Миронова