Способ определения скорости газовыделения в вокуумном объеме

Способ определения скорости газовыделения в вокуумном объеме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 11476473

Csea Советских

Сокиапистическик

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 30.05.73 (21) 1923930!18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

Опубликовано 05.07.75. Бюллетень № 25

Дата опубликования описания 06.01.76

1о1) . 1. 1,л. 6 011 21/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делан изобретений и открытий (53) УДК 531.788 (088.8) (72) Авторы изобретения А. И. Пипка, В. Я. Плискавский, И. В. Златкис, Л. H. Телихов, Б. И. Бухарин, М. Ф. Савина и Б. В. Макаров (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ

ГАЗОВЫДЕЛЕНИЯ В ВАКУУМНОМ ОБЪЕМЕ

Изобретение относится к вакуумной тех.нике, в частности к измерению газовых потоков в вакуумных объемах.

Известны способы определения скорости газовыделения, в которых участок вакуумной системы с датчиком давления и насосом изолируют ат источника газовыделения и интегрируют выходной сигнал, датчика. При этом возникают ошибки измерений, обусловленные сарбционной памятью насоса и различны.. элементов вакуумной системы.

С целью повышения быстродействия и исключения влияния сорбционной памяти насоса на точность измерений в момент полной изоляции источника газовыделения от вакуумной системы, содержащей датчик давления и насос, предложен способ, по которому, дифференцируют функцию изменения давления во времени по выходному сигналу датчика давления в первый момент после полной изоляции исследуемого объема от откачивающего насоса.

На фиг. 1 представлена принципиальная блок-схема поста откачки электровакуумного прибора; на фиг. 2 — динамика изменения давления в вакуумной системе (тачка А соответствует моменту закрытия высоковакуумного вентиля).

Предварительная откачка вакуумного прибора 1 (фиг. 1) производится через вентиль 2 и ловушку 3 насосам 4 предварительного разрежения.

Высоковакуумная откачка прибора производится насосом 5.

Давление в системе измеряют датчиком давления или масс-спектрометрическпм датчиком б, сигнал с которого поступает на измерительный блок 7, а затем — на электронный дифферснциатор 8. Часть вакуумной сис10 темы объемам 1, включающая насос 5 и датчик давления 6, изолируется от исследуемого прибора 1 (псточника газовыделения) вентилем 9 с автоматизпрован11ым приводом.

Измерение скорости газовыделеш1я производят следующим образом.

Закрыва1ат вентиль 9. При этом в первый момент после закрытия вентиля давление в си=теме P равна давлению Р1 до его закрыТ11я, а Эф:, сКТ:1 Пая бЬ!Страта атКаЧКИ Sa остается неизменной, поскольку быстрота дей20 ствня насос": 5 да закрытн1я Вснт!1ля 11 в первый itoit .1T ttoc > закрытия вентиля o+H3 и та же.

Поэтому, скорость газовыделения плп поток газа прп квазистационарном процессе—

Q, (т. е. поток газа в системе до закрытия вентиля) равен потоку газа прн нестацпонарнам и роцсссс — Q, воз н11ка1ощем в вакуумtoit объеме в первый момент после закрытия зо вентиля (Qt Q,,) .

476473

Q,= V(„) A, Q, = V< „) A. юг. Z

Поток газа q2 выражается, как: где V — объем вакуумной системы до закрытия вентиля со стороны насоса;

< а 1 — ) Л вЂ” скорость изменения давления в перл) вый момент после закрытия вентиля (см. точку А, фиг. 2).

Следовательно, Таким образом, для определения скорости газовыделения объекта (или возникающего из него потока газа) необходимо, зная объем вакуумной системы V, найти скорость изменения давления;в системе в первый момент после закрытия вентиля.

Предложенный способ обеспечивает высокую точность измерения при условии т, — т„

5 V (где т, = — — постоянная времени сиII стемы); т V — время, в течение которого проводимость закрывающегося вентиля сравнима с

l0 проводимостью элемента, соединяющего вентиль с исследуемым вакуумным объемом. Предмет изобретения

Способ определения скорости газовыделения в вакуумном объеме, .например, в вакуумном приборе на откачном посту,,при котором изолируют исследуемый объем от участка с датчиком давления и насосом, отличаю20 tquucst тем, что, с целью сокращения времени измерения и повышения точности измерений, ди ф ференцируют функцию изменения да вления во времени по выходному сигналу датчика давления в первый, момент после полной

26 изоляции исследуемого объема от откачивающего насоса.