Тонкопленочный конденсатор постоянной емкости

Тонкопленочный конденсатор постоянной емкости

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (п1 476 6 I 4

Со1оз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 12.06.73 (21) 1931826/26-21 (51) М. Кл. Н Olo 3/06 с присоединением заявки ¹

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 05.07.75. Бюллетень № 25

Дата опубликования описания 17.11.75 (53) УДК 621.396.6-181. .48 (088.8) (72) Автор ы изобретения

В. Г. Красов, А. Д. Хромов, Л. С. Никитенко, Б. Н. Ласкорин, В. Ф. Смирнов и К. Г. Марин (71) Заявитель (54) ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ КОНДЕНСАТОР ПОСТОЯН

ЕМКОСТИ

Предмет изобретения

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в микроэлектронике при произ водстве тонкопленочных гибридных микросхем.

Известе н тонкопленочный конденсатор постоянной емкости, выполненный на основе системы металл-диэлектрик-металл с диэлектриком из соединения редкоземельного металла..

Основными недостатками известного тонкопленочного конденсатора постоянной емкости являются невысокая максимальная удельная емкость (C,. =50 —:70 тыс. пф/смз) и сравнительно низкая электрическая прочность (Е„„= (1 —:2) 10 в/см).

Цель изобретения — повышение удельной емкости и электрической прочности.

Поставленная цель достигается тем, что в качестве соединения редкоземельного металла для диэлектрика использован скандиат редкоземельного металла, например скандиат неодима.

В тонкопленочном конденсаторе постоянной емкости используют скандиат неодима стехиометрического состава, полученный твердофазным синтезом при температуре 1400 С из осажденных из раствора гидроокисей скандия и неодима.

Напыление диэлектрического слоя пз скандиата неодима проводят методом электронно

5 лучевого испарения в ваккуме (2 — 5) 10 — торр брикета из скандиата неодима.

Тонкопленочные конденсаторы с диэлектриком на основе скандиата неодима 11 других редкоземельных металлов ооладают большой

10 удельной емкостью свыше 100 тыс., пф/см-"; при тангенсе угла диэлектрических потерь меньше

0,005 и электрической прочностью

Ер — — (3 — 5) . 10 в/см.

Тонкопленочный конденсатор постоянной емкости, выполненный на основе системы металл — диэлектрик — металл с диэлектриком из

20 соединения редкоземельного металла, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения удельной емкости и электр ическои прочности, в качестве указанного соединения для диэлектрика использован скандиат редкозе25 мельного металла, например скандиат неодима.