Устройство для изготовления электронно-оптических приборов

Устройство для изготовления электронно-оптических приборов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

R АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и) 47662I

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 27.09.72 (21) 1832135/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 05.07.75. Бюллетень № 25

Дата опубликования описания 05.11.75 (51) . 11. Кл. Н 01j 9/12

Н Olj 9/38

Государственный комитет

Совета Министров СССР па делам изобретений и открытий

{53) УДК 621.385(088.8) (72) Авторы изобретения

А. М. Искольдский, В. Д. Прилепских и В. М. Финогенов (71) Заявитель Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения АН СССР (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к оборудованию для изготовления электронных приборов.

Известно устройство для изготовления электронно-оптических приборов (ЭОП), содержащее вакуумную камеру, расположенные в ней держатели заготовок фотокатодов и ЭОП, снабженные уплотнительными элементами, механизм перемещения ЭОП, подвижно установленные в камере активировочные узлы, снабженные уплотпительными элементами, сопрягаемыми с уплотнительHûìè элементами держателей заготовок фотокатодов. Это устройство не обеспечивает высокую повторяемость параметров приборов и их надежность.

С целью повышения качества изготовляемых приборов в предложенном устройстве держатели фотокатодов и сопрягаемых с ними ЭОП установлены на двух, расположенных друг под другом соосных и синхронно вращающихся каруселях, размещенных в отсеках вакуумной камеры, соединенных центральным каналом. На каждом из отсеков, по крайней мере, против одной из позиций каруселей установлены соответственно активировочный узел и механизм перемещения ЭОП, соосно с которым отсеки вакуумной камеры соединены дополнительным капалом.

На чертеже показано предложенное устройство.

Устройство содержит вакуумную камеру 1 с отсеками 2, 3, соединенными между собой центральным каналом 4. В отсеках размещены карусели 5, 6 с держателями 7, 8 для фотокатодов и ЭОП соответственно. Карусели расположены друг под другом соосно и приводятся в движение синхронно. Держатели 7, 8 снабжены сопрягающимися уплотнительными элементами 9, 10.

На каждом из отсеков 2, 3, по крайней мере, против одной из позиций каруселей уста-! О новлены соответственно активировочный узел

11 с уплотнительным элементом 12 и механизм перемещения 13 ЭОП. Соосно - механизмом перемещения 13 отсеки вакуумной камеры 2, 3 соединены дополнительным канг15 лом 14.

ЭОП и заготовки фотокатодов устанавливают в держатели 7, 8 на каруселях 5, 6 в вакуумной камере 1. После откачки и обезгаживания камеры производится формирование

20 фотокатодов.

Для этого активировочный узел 11 поднимается и вакуумноплотно соединяется с держателем 7 фотокатода с помощью уплотнительных элементов 9, 12, затем производится

25 нанесение компонентов на заготовку фотокатода и активирование его. После выравнивания давления в активировочном узле 11 и от секе 2 камеры активировочный узел опускает ся, т. е. отделяется от держателя фотокатода

30 7, а кар сель поворачивается и переводится, если есть необходимость, к другому активиро476621 вочпому узлу. Готовый фотокатод совмещается соосно с мсхаиизмом перемещения 13 ЭОП, осуществляющим герметизацию приоора в результате соединсшгя уплотнительных элементов 9 и 10.

Устройство позволяет повысить качество и надежность электронно-оптических приборов.

Предмет изобретения

Устройство для изготовления электроннооптических приборов, содержащее вакуумную камеру, расположецные в ней держатели заготовок фотокатодов и электронно-оптических приборов, снабженные уплотнительными элементами, механизм перемещения электроннооптических приборов, подвижно установленные в камере активировочные узлы, снабженцые уплотпительными элементами, сопрягаемыми с уплотнительными элементами держателей заготовок фотокатодов, о т л и ч а ющ с е с я тем, что, с целью повышения качества изготавливаемых приборов, держатели фотокатодов и сопрягаемых с ними электроннооптических приборов установлены на двух, расположенных друг под другом соосных и синхронно перемещающихся каруселях, раз1О мещенных в отсеках вакуумной камеры, соединенных центральным каналом, и на каждом из отсеков, по крайней мере, против одной из позиций каруселей установлены соответственно активировочный узел и механизм перемеi5 щения электронно-оптических приборов, соосно с которым отсеки вакуумной камеры соеди сны дополнительным каналом.