Многоэлектродный электрический зонд
Патент 478234
Авторы
Многоэлектродный электрический зонд
Иллюстрации
Реферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (11) 478234
{61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 24.08.73 (21) 1955270/26-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) ПриоритетОпубликовано 25.07.75.Бюллетень №27
Дата опубликования описания 11,09.75 (51) М. Кл.
© 01 и 23/08
С 01 Й 23/12
Гооударствеииый иомитет
Совета Мииистров СССР по делам изооретеиий и открытий (63) УДК533.9(088.8) (72) Авторы изобретения А. Т. Онишенко, В. С. Костенко, В. Н. Чепурной и В. А. Шувалов (71) Заявитель Днепропетровское отделение Института механики АН Украинской CCP (54) МНОГОЭЛЕКТРОДНЫЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ЗОНД
Предлагаемый зонд обеспечивает более высокую точность в процессе непрерывного измерения распределения ионов по энергиям
Изобретение относится к измерительнйм приборам и приспособлениям, применяемым в качестве инструмента для диагно,- стики параметров потока частично ионизированных газов низкой плотности. 5
Известный многоэлектродный зонд; применяемый для определения параметров электронной и ионной компонент потока разреженной плазмы, содержит диафрагму, корпус и электроды. 10
Однако известный зонд характеризуется значительной погрешностью измерения при непрерывной эксплуатации в течение длительного времени.
° Это обусловлено замкнутостью рабочего объема зонда, что приводит к . накоплению . попавших в этот объем нейтралов остаточного газа в вакуумной камере. Образуюшиеся в результате взаимодействия gp с нейтралами медленные ионы и метастабильные атомы создают дополнительный фонд, приводящий к значительной маскировке энергетического спектра ионов основного потока плазмы. И т
Кроме того, известный многоэлектродный зонд применяется только при очень ,точно выдержанных условиях свободно молекулярного обтекания. В противном случае, при промежуточных давлениях, т. е. при переходных режимах обтекания донда, перед входной диафрагмой многоэлектродного зонда образовывается.облако частиц, нспытываюших взаимные соударения, что в конечном результате приводит при доста точно высоких плотностях набегаюшего потока к искажению измеряемых йараметров. для этого диафрагма многоэлектродного зонда выполнена конической с острыми входными кромками и закреплена на трубчатом открытом с обеих концов диэлектрическом корпусе, внутри которого установлены разделенные втулками кольцевые электроды.
478234
Составитель Ю,Мордвинов
Техред р.Камышникова Корректор Л.Бракнииа
Редактор .фадеева и .и
Заказ, Я
Тираж 902
Подписное
Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская иаб., 24
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и откбытий
Москва, 113035, Раушская наб., 4