Установка для химической обработки изделий

Установка для химической обработки изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

00 478796

Союз Сенатских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 17.05.73 (21) 1933044/29-33 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.07.75. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 20.10.75 (51) М. Кл. С 03с 15/00

С 23g 3/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 666.1.053.63 (088,8) (72) Авторы изобретения Н. Г. Медведев, А. T Мягков, В, Д. Хныкин и Р. В. Щербачев (71) Заявитель (54) УСТАНОВКАДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к установкам парожидкостной химической обработки изделий и может быть использовано для химической обработки кремниевых и ситалловых пластин при производстве полупроводниковых микросхем.

Известна установка для химической обработки изделий, содержащая реакционную камеру с колонной, несущей устройство для крепления кассет с изделиями. Однако известная установка не обеспечивает высокого качества обработки.

Цель изобретения — улучшение качества обработки.

Достигается это тем, что колонна выполнена пустотелой и перфорированной, а устройство для крепления кассет — в виде обоймы, смонтированной на втулке с радиальными отверстиями, свободно установленной на колонне.

Кроме того, обойма с кассетами для изделий снабжена сифонной трубкой.

На фиг. 1 изображена предлагаемая установка, общий вид; на фиг. 2 — разрез по А—

А на фиг. 1.

Установка химической обработки изделий содержит станину 1, с расположенными на ней испарителем 2 и реакционной камерой 3, имеющей конденсатор 4.

Реакционная камера 3 состоит из корпуса

5, имеющего пустотелую колонну 6, перфори2 рованную отверстиями 7, на которую свободно надета втулка 8 с пазами 9, в которых зафиксированы обоймы 10 с открытой верхней частью.

5 Внутрь обойм 10 помещены кассеты 11 с обрабатываемыми изделиями 12. Обоймы снабжены сифонными трубками 13, максимальный уровень подъема жидкости в которых соответствует максимальному уровню заполнения

10 обойм 10 реактивом. Втулка 8 имеет радиальные отверстия 14. В верхней части реакционной камеры помещен холодильник 15. Корпус

5 внутри снабжен сборником 16 конденсата, соединенным с пустотелой перфорированной

15 колонной посредством отверстия 17. Реакционная камера герметизируется крышкой 18 с осью 19 и уплотнением 20 с помощью фланца

21, винта 22 и штурвала 23.

Подача хладагента в холодильник 15 осу20 ществляется через штуцер 24. Пары реактива через трубопровод 25 поступают из испарителя в реакционную камеру. Конденсат из реакционной камеры 3 попадает в конденсатор 4 по трубопроводу 26, где охлаждается, а затем

25 по трубопроводу 27 поступает из конденсатора в испаритель. Изделия закладываются в кассеты, а кассеты укладываются в обоймы. После этого крышка поворачивается относительно оси 19 в сторону и через люк 28 реакцион30 ной камеры обоймы с кассетами и обрабаты478796

3 ваемыми изделиями вставляются в пазы 9 втулки 8. Из испарителя 2 через трубопровод

25 в реакционную камеру 3 поступают под давлением пары реактива, которые конденсируются с помощью холодильника 15 и собираются в сборники 16 конденсата, а затем через отверстие 17 поступают в полую часть перфорированной колонны 6 и через отверстия 7— в обойму 10, находящуюся в горизонтальном положении, По мере накопления конденсата в обойме 10 втулка 8 с закрепленными обоймами, а также с кассетами 11 и изделиями 12 поворачивается в направлении, указанном стрелкой.

Так как обойма 10 снабжена изогнутой сифонной трубкой 13, максимальный уровень подъема жидкости в которой соответствует максимальному уровню заполнения обоймы 10 реактивом, то по достижении этого уровня реактив через изогнутую сифонную трубку 13 выливается из обоймы 10 и по трубопроводу

26 поступает в конденсатор 4, а затем по трубопроводу 27 — в испаритель 2. После слива реактива из обоймы 10 втулка 8 вместе с закрепленными обоймами и кассетами с обрабатываемыми изделиями поворачивается в следующее положение и операция повторяется. Таким образом, происходит периодическое вращение втулки вместе с обоймами и кассетами с обрабатываемыми изделиями под действием конденсированной жидкости и периодическая обработка изделий 12 в объеме конденсированного реактива и парах. При этом пар по5 ступает в реакционную камеру 3 под высоким давлением и таким образом происходит парожидкостная химическая обработка изделий 12 от загрязнений, имеющих высокую температуру плавления, низкокипящими растворителя10 ми. После обработки изделий камера 3 разгерметизируется, обоймы 10 с изделиями 12 вынимаются через люк 28 реакционной камеры 3 и операция повторяется, I5 Предмет изобретения

1. Установка для химической обработки изделий, содержащая реакционную камеру с колонной, несущей устройство для крепления

20 кассет с изделиями, отличающаяся тем, что, с целью улучшения качества обработки, колонна выполнена пустотелой и перфорированной, а устройство для крепления кассет— в виде обоймы, смонтированной на втулке с

25 радиальными отверстиями, свободно установленной на колонне.

2, Установка по п. 1, отличающаяся тем, что обойма с кассетами для изделий снабжена сифонной трубкой.