Нагреватель для подогрева окисляемых в кислородной плпзме образцов

Нагреватель для подогрева окисляемых в кислородной плпзме образцов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ (t i) 47889

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 31.05.73 (21) 1929489/26-21 (51) М. Кл. С 23с 13/12 с присоединением заявки №

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 30.07,75. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 10.10.75 (53) УДК 621.365.4 (088.8) (72) Авторы изобретения

В, А. Сычик и А. В. Николаев (71) Заявитель

Минское производственно-техническое объединение «Горизонт» (54) НАГРЕВАТЕЛЬ ДЛЯ ПОДОГРЕВА ОКИСЛЯЕМЫХ

В КИСЛОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ ОБРАЗЦОВ

Государственный комитет (23) П

Приоритет

Изобретение относится к тонкопленочной микроэлектронике.

Известен нагреватель для подогрева окисляемых в кислородной плазме образцов, содержащий столик с нагревательным элементом.

Однако известный нагреватель имеет низкую равномерность нагрева окисляемых образцов.

Цель изобретения — повышение равномерности нагрева окисляемых образцов.

Для этого нагревательный элемент выполнен в виде расположенной внутри столика, герметически закрытой и электрически изолированной от столика пластины, причем столик выполнен из неокисляемого термостойкого материала, например, из нержавеющей стали.

На чертеже показан предлагаемый нагреватель, Предлагаемый нагреватель содержит корпус

1 столика, диэлектрические прокладки 2, нагревательный элемент 3, крышку 4 столика и вакуумный токоввод 5.

Корпус 1 столика выполнен из теплопроводящего неокисляемого и термостойкого материала, например из нержавеющей стали. Нагревательный элемент выполнен из тугоплавкого металла (вольфрам, молибден и т. д.) плоской формы и размещен в выфрезерованном окне корпуса столика, причем одной стороной он жестко соединен с корпусом столика, а другой — с вакуумным токовводом 5. Вакуумный токоввод 5 выполнен по стандартной технологии и жестко закреплен на крышке 4

5 столика. Вторым токовводом является контакт поверхности столика с корпусом установки, Крышка 4 столика вакуумно плотно соединена с его корпусом 1 с помощью вакуумного уплотнения — металлической прокладки 6.

10 Диэлектрические прокладки 2, служащие для предотвращения короткого замыкания нагревательного элемента и максимальной передачи от него тепла на стенки корпуса, изготовлены из тугоплавкого вакуумного и теплопро15 водящего диэлектрика (например, окисноберрилиевой керамики).

С целью осуществления процесса получения необходимой окисной пленки диэлектрическая подложка 7 с нанесенным слоем окисляемого

20 вещества 8 жестко закрепляется на столике и подводится к окну плазменного генератора 9.

Процесс подогрева образцов осуществляется следующим образом.

В момент достижения оптимальной толщи25 ны окисной пленки в кислородной плазме осуществляется нагрев подложки с целью обеспечения дальнейшего роста окисла в процессе подачи на нагревательный элемент электрического напряжения. В начальный момент про30 цесса окисления используются токи высокой

478893

Предмет изобретения /ислоро

Составитель Л. Слащинина

Техред 3. Тараненко

1(орректор E. Рогайлина

Редактор В. Булдаков

Заказ 2503/13 Изд. № 1681 Тираж 966 Подписное

ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 плотности, в результате чего происходит скоростной нагрев столика, поскольку выделяемая тепловая энергия расходуется только íà его нагрев, причем поверхность столика равномерно нагревается по всей плоскости соприкосновения с подложкой благодаря высокой теплопроводности диэлектрических прокладок 2 и минимальному объему, занимаемому плоским нагревателем внутри столика.

После достижения необходимой температуры расход электроэнергии снижается в связи с уменьшением плотности тока нагревателя до значения, требуемого для поддержания оптимальной температуры подложки.

Нагреватель для подогрева окисляемых в кислородной плазме образцов, содержащий

5 столик с нагревательным элементом, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения равномерности нагрева окисляемых образцов, нагревательный элемент выполнен в виде расположенной внутри столика, герметически за10 крытой и электрически изолированной от столика пластины, причем столик выполнен из неокисляемого термостойкого материала, например из нержавеющей стали.