Вакуумная установка для нанесения покрытий

Вакуумная установка для нанесения покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОР СИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< F479826

Сова Советских

Социалистических

Реслублнк (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 22.02.73 (21) 1885846 29-33 с присоединением заявки— (23) Приоритет—

Опубликовано 05.08.75. Бюллетень _#_o 29

Дата опубликования описания 08.01.76 (51) М. Кл. С 23с 13, 08

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делан нзабретеннй н открытий (53) УДК 621.793.72 (088.8) (72) Авторы изобретения Л. К. Ковалев, В. А. Архипов, Б. Г. Васецкий, E. H. Смирнов, В. А. Шитов и A. В. Королев (71) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ПОКРЪ1TH Й

Изобретение относится к области нанесения различных оптических покрытий в вакууме на подложки, например, из стекла и может быть использовано в электровакуумной и оптической промышленностях.

Известны вакуумные установки для нанесения покрытий на подложки, содержащие напылительную камеру, отделенный от нее заслонкой испаритель, держатели подложек и нагреватель.

Недостатком известных установок является расположение нагревателя в зоне, значительно удаленной от .напыляемой по верхности подложек, причем нагреватель не отделен от испарителя стационарным экраном, что .не позволяет получить высококачественное покрытие.

Цель изобретения — повышение качества покрытий — достигается тем, что держатели подложек в предлагаемой установке смонтированы на карусели, ось которой расположена в горизонтальной плоскости, а нагреватель размещен под испарителем и отделен от него экраном. Кроме того, установка снабжена свидетелем для контроля качества покрытий, отделенным от испарителя подвижными ширмами, закрепленными на карусели подложек.

На фиг. 1 изображен продольный разрез напылительной камеры установки; на фиг.

2 — вид по стрелке А на фиг. 1; на фиг. 3— разрез Ino Б — Б на фнт. 1; на фит, 4 — разрез,по  — В,на фиг. 3.

Вакуумная установка состоит из непоо: движной напылительной камеры 1 и поворотной крышки 2 оптического контроля, включающей осветитель 8 и фотоприемник 4. С це лью нагрева свидетеля 5 и обезгаживания внутренней арматуры камеры установлены нагреватели б и 7. На опорном ролике 8, при, водном ролике 9 и прижимных роликах 10 и, 11 смонтирована карусель подложек 12, кото, рая имеет возможность вращения вокруг горизонтальной оси. На карусели закреплены

1 держатели подложек 18 с подложками 14, причем держатели подложек имеют собствен ную ось вращения и на конце жестко закреп:, ленные на оси ролики 15. С помощью пружин

1б ролики держателей подложек прижима 0j ются к неподвижной кольцевой направляющей 17, жестко закрепленной на корпусе на : пылительной камеры. На крышке камеры * установлен испаритель 18. Кольцо 19, расположенное на карусели, несет на себе по:25 движные ширмы 20, 21 и 22, которые имеют возможность фиксации с помощью винта 28 относительно ширм 24, 25 и 2б, закрепленных неподвижно на спицах карусели 27, что по. зволяет регулировать зазор, по которому поступает поток испаряемого материала к сви479826

Фиг. / детелю. Под испарителем размещен нагреватель подложек 28, который закреплен на крышке камеры, причем нагреватель подложек отделен от испарителя стационарным экраном 29. Над испарителем установлена заслонка 80.

Установка работает следующим образом.

После загрузки подложек в держатели и материала в испаритель закрывают крышку и проводят процесс откачки. В процессе откачки прогревается арматура камеры с помощью нагревателей б и 7 с целью обезгаживания. Во время разогрева испаряемого вещества заслонка 80 занимает положение, при котором она предохраняет поверхности подложек и свидетеля от попадания испаряемого материала до начала возгонки. Затем приводят во вращение карусель подложек 12. Во время нанесения покрытия напыляемая поверхность подложек подогревается нагревателем 28, а свидетель 5 периодически отделяется от испарителя ширмами, расположенными на карусели, тем самым обеспечивается одинаковое качество покрытия на неподвижном свидетеле и вращающихся подложках.

После напыления покрытия заслонка 80 отсекает поток испаряемого материала к подлож5 кам и свидетелю.

Предмет изобретения

1. Вакуумная установка для нанесения покрытий, включающая напылительную камеру, отделенный от нее заслонкой испаритель, держатели подложек и нагреватель, отличаюи1аяся тем, что, с целью повышения качества покрытий, держатели подложек смонтированы на карусели, ocb которой ра оположвна в горизонтальной плоскости, а нагреватель размещен под испарителем и отделен от него экраном.

2. Вакуумная установка по п. 1, отличаюи аяся тем, что она снабжена свидетелем для .контроля качества покрытий, отделенным от испарителя подвижными ширмами, закрепленными на карусели подложек.

479826

Фиг 4

Составитель В. Шитов

Техред Т. Курилко

Редактор М. Васильева

Корректор В. Гутман

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Заказ 1283/1847 Изд. № 14 Тираж 966 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5