Способ изготовления испаряемых молибденовых анодов

Способ изготовления испаряемых молибденовых анодов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1 пц 480204

ОПИСАНИЕ

ИЗОЬРЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Ресаублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06.03.73 (21) 1890426/26-21 (51) М. Кл. Н 05k 3/14

С 23с 13/12 с присоединением заявки №

Го суда р ст вен в ми ком итет

Совета Министров СССР (23) Приоритет

Опубликовано 05.08.75. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 27.11,75 (53) УДК 621.396.6-181. .48 (088.8) ло делам изобретений и OTKpblTH5 (72) Авторы изобретения

С. Н. Родионов, А, Е. Лихтман, А. И. Глушко и Л. А. Сейдман (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИСПАРЯЕМЫХ

МОЛИБДЕНОВЫХ АНОДОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к технике вакуумного напыления тонких пленок, в частности пленок молибдена.

Известен способ изготовления испаряемых молибденовых анодов для электроннолучевого испарения молибдена, включающий выполнение тела анода прокаткой молибденовой ленты. Однако известный способ не обеспечивает постоянной скорости испарения при постоянной мощности нагрева, т. к. молибден изменяет микро- и макрорельеф своей поверхности благодаря высокой поверхностной подвижности атомов при высоких температурах.

Поэтому при испарении молибдена из поликристаллической ленты кристаллики молибдена, лежащие на поверхности, начинают при высоких температурах расти в длину. Получаются игольчатые кристаллы молибдена с правильной огранкой. Иголки торчат из пластины молибдена в направлении прокатки ленты и значительно увеличивают ее поверхность.

Из-за этого для поддержания постоянной скорости испарения молибдена необходимо в несколько раз повысить мощность.

Цель изобретения — обеспечение постоянной скорости испарения при постоянной мощности нагрева.

Предлагаемый способ отличается тем, что молибденовую ленту прокатывают в двух направлениях, Такая прокатка не оставляет в ленте избранного направления, поэтому рекристаллизационные процессы не приводят к росту игольчатых кристаллов. Поверхность ленты остается гладкой и скорость испарения постоянной при постоянной мощности нагрева.

Аноды, изготовленные по предложенному способу, использовались в испарителе молибдена с электронным нагревом, состоящим из анода и накаливаемого катода. Катод выполнен из вольфрамовой проволоки диаметром

0,3 мм и длиной 70 мм. Анод сделан из молибденовой ленты, прокатанной в двух направлениях. его размеры 70+7+1. Расстояние между анодом и катодом 10 мм. На анод подают положительное напряжение 2,0—

2,5 кв. Катод накаливают током 10 а. Ток эмиссии катода 700 ма. В таком режиме молибден испаряется со скоростью 1 мг/сек см .

Способ изготовления испаряемых молибденовых анодов для электроннолучевого испарения молибдена, включающий выполнение тела анода прокатной молибденовой ленты, отличающийся тем, что, с целью обеспечения постоянной скорости испарения при постоянной мощности нагрева, молибденовую

30 ленту прокатывают и двух направлениях.