Камера для проведения технологических операций в условиях обеспыленной атмосферы"
Патент 480888
Авторы
Камера для проведения технологических операций в условиях обеспыленной атмосферы"
Иллюстрации
Реферат
ПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Ресоублнк (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 10.02.71 (21) 1623742/29-14 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 15.08.75. Бюллетень № 30
Дата опубликования описания 02.12.75 (51) М. Кл. F 241 13/00
Е 0411 9/06
Государственный комитет
Совета Министров СССР ао делам изобретений н открытий (53) УДК 628.88(088.8) (72) Авторы изобретения
А. В. Максименко, В. А. Камчугов, В. Н. Корнеев, А. М. Уржумцев, В. И. Белов и Я. Г. Науменко (71) Заявитель (54) КАМЕРА ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ
ОПЕРАЦИЙ В УСЛОВИЯХ ОБЕСПЫЛЕННОЙ
АТМОСФЕРЫ
Изобретение относится к средствам для создания санитарно-технической гигиены в производственных помещениях и может быть использовано в электронной промышленности, приборостроении и других отраслях при изготовлении высококачественных изделий полупроводниковой техники, электровакуумных приборов и узлов автоматики.
Известна камера для проведения технологических операций в условиях обеспыленной атмосферы, включающая установленные на основании стеновые панели и перекрытие с расположенными в нем фильтрами предварительной и тонкой очистки, а также вентиляторы.
У известных камер нагнетатели воздуха размещены раздельно от фильтров тонкой очистки, что усложняет их эксплуатацию и затрудняет создание ламинарного воздушного потока по всей площади камеры.
С целью улучшения ламинарности воздушного потока во всем объеме перекрытие предлагаемой камеры выполнено составным, каждая секция имеет фильтр предварительной очистки и фильтр тонкой очистки, установленные один под другим. В выходном патрубке вентилятора, установленного в фильтре предварительной очистки, имеется отражательный элемент. Перекрытие может быть герметично соединено со стеновыми панелями посредством стяжных винтов и планок, расположенных по торцам панелей. Отражательный элемент может быть выполнен в виде перфорированного конуса, а основание камеры может быть выполнено с расположенными по его периметру отверстиями, в каждом из которых установлена заслонка.
На фиг. 1 показана предлагаемая камера, общий вид; на фиг. 2 — конструкция стеновой панели; на фиг. 3 — разрез по А — А на фиг.2;
10 на фиг. 4 — секция перекрытия, разрез.
Камера включает основание 1, на котором установлены стеновые панели 2, и перекрытие
3, выполненное составным. В каждой секции перекрытия один под другим установлены
15 фильтр 4 предварительной очистки, вентилятор 5 и фильтр 6 тонкой очистки, перекрывающий выходной патрубок вентилятора, в котором установлен отражательный элемент 7, выполненный в виде перфорированного кону20 са. Перекрытие герметично соединено со стеновыми панелями посредством стяжных винтов 8 и,планок 9 и 10, которые расположены по торцам панелей. Основание камеры выполнено с отверстиями а, расположенными по пе25 риметру основания, в каждом из которых установлена заслонка 11.
Работает камера следующим образом.
При включении вентиляторов подлежащий очистке воздух проходит через фильтр пред30 варительной очистки, освобождаясь от частиц, 480888 и через отражательные элементы подается на фильтры тонкой очистки. Воздушный поток, двигаясь сверху вниз через решетчатый пол
12, поступает в основание камеры и через отверстия выходит наружу. Подпор воздуха в камере, его расход и равномерное распределение регулируется с помощью заслонок.
Предмет изобретения
1. Камера для проведения технологических операций в условиях обеспыленной атмосферы, включающая установленные на основании стеновые панели и перекрытие с расположенными в нем фильтрами предварительной и тонкой очистки, а также вентиляторы, о тл ич а ю щ а я с я тем, что, с целью улучшения ламинарности воздушного потока во всем объеме камеры, ее перекрытие выполнено составным, каждая из секций которого имеет установленные один под другим фильтр предварительной очистки, имеющий в выходном па5 трубке отражательный элемент, вентилятор и фильтр тонкой очистки, 2. Камера по п. 1, отличающаяся тем, что перекрытие герметично соединено со стеновыми панелями посредством стяжных вин10 тов и расположенных.по торцам панелей планок.
3. Камера по п. 1, отл ич а юща я ся тем, что отражательный элемент выполнен в виде перфорированного конуса.
15 4. Камера по п. 1, отличающаяся тем, что основание камеры выполнено с расположенными по его периметру отверстиями, в каждом из которых установлена заслонка.