Детектор электронов
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН И Я
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
III! 4810 08
Союз Советских
Социалистическими
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.06.73 (21) 1935336 26-25 с присоединением заявки М
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Опубликовано 15.08.75. Бюллетень М 30 (>3) УДЕ, 621.387.4.539..1.074 (088.8) Дата опубликования описания 20.10.75 (72) Льтор изобретения
В. Н. Осипов (71) Заявитель (54) ДЕТЕКТОР ЭЛЕКТРОНОВ преобразователе и накладывающихся иа сш.— нал при còо двойном энергетическом Ilpcoop;Iзов анни (электроны — фотоны — электроны), что ограшгчивает чувствительность детектор» и, как следствие. ра: ðåøàþùóþ способность прибора, в котором он используется; тсхии1еские трудности, возникающие при работе со слабыми сигналами II выражающиеся в необходимости очень тщательного изготовления
10 световода и сциитиллятора и Tlllàòåëüíoì сопряжении их сие! тралыiых харакTcpистик I! характеристики ФЭУ.
Для повышения об1цего коэффициента усиления в предлагаемый детектор введен мало15 шумящий электронный умножитель. уcTBHoBленный между устройством сбора электронов и развязывающим преобразователем таким образом, что коллектором усиленного поток;1 электронов с его выхода служит входной элек20 трод сцинтиллятора в развязываю|цем преобразователе.
На чертеже схематически показан предлагаемый детектор.
В металлической трубке 1. являющейся
25 электромагнитным экраном и корпусом детектора, со стороны торца, обращенного в сторону исследуемого объекта 2, на изоляторах
3, последовательно друг за другом, размещены: устройство сбора электронов 4, выполнен30 ное в виде металлической сеточки или комбиГосударственный KOMllf8T (23) 1-1 ио и, т
Изобретение предназначено для испол зования в растровых электронных микрозоидовых приборах.
Известные детекторы электронов состоят из устройства сбора электронов, развязывающего преобразователя (включающего сцинтиллятор с входным электродом и световод), фотоэлектронного умиожптеля (ФЭУ) с нагрузкой и источника питания.
В известном детекторе устройством сбора электронов часть электронов, вышедших из исследуемого образца, направляется в поле входного электрода сцинтиллятора и приобретает в нем оптимальную для возбуждения примененного сцинтиллятора энергию. Часть возбужденных в сцинтилляторе фотонов направляется с помощью световода на фотокатод ФЭУ и возбуждает в нем вторичные электроны, поток которых, усиленный динодами
ФЭУ, создает в нагрузке регистрируемый сигнал. С целью уменьшения уровня собственных шумов и достижения максимальной чувствительности по входному сигналу в таких детекторах предъявляются жесткие требования к согласованию спектральных характеристик сцинтилляторов, световода и ФЭУ, а также к конструкции световода и сцпнтиллятора.
Недостатки известного детектора следующие: большой уровень собственных шумов детектора, возникающих в развязывающем
1 151) М. К, . G 01 t 1.28
48(ООч ?
? р а Л
lI3ljIIII Отк. !011»101)!!JX ПЛЯ(T I!!, i: !, i! !!!j 15! 1! (Ii
".1сктроипыи, м(и)жгтe.1: (1:(, I! (- :),5 -(. ( изготоп,)снный (i(з ко,fëcKToð ii р::.,Б»;ыв!!! . (jèé ирсобрязовят(,-.:, j), p301!o,зо к нный
1)хо;(иом торце размс цепного за ип..! с)?3" 7 изготовленный путем последоватсл)июго пя!ксения па торец Ф ;э;5 слоя ctjIIIITltллягopя г( тонкого проводящего покрытия 9, имею пс: о контяктн li) пло!Надку, и ФЭ:) 7 с подкгиоч ((IIo!I K He:(1?, ня(грузкой 10, Ii, .vt(галлI .?IecKoli сеточке 4, электронно(му умпожителю 5. ко I тактной площадке проводящего покрытия О. являющегося Входным электродом развлзы": к)щего преобразователя 6, и ФЭУ 7 подве-,e:I:, напряжения от ис1очника пита!(ия 11. общи(! шина которого соед!гиена с исследуемым о(I,— ектом 2 ме", аллической трубкой 1 (являющейся экраном детектора), вторым концом 1!я
ГруЗКИ 10, ПОдК»tocte! II!Oli К ВЬ)ХОд; Ф.=о?, общим контуром 3à3çå.»ëå! !л.
Поток электронов от исследус((1(?. о oi)»K(:(i(;( с помощ. ю регулируемого:(отсици(!5(я, T )ойства сбора электронов (сеточки пли о(к,(оп»ющи ° пластин) пяпр31)ë»CTcÿ ti;! (()»ый
ПОД МЯ Iojtl?i М 5(и(ЕГО В3;! 11 1(0! .ciла(((Ч()СГ( него дпио J3 1! AOKop5IIOI(je (юлс, созда;(яс»0( в х Одн ы )и э л с кт родо м р 3:) !)»;I I?) i! 3 I()! f j e i 11 U (0 (!I разовятеля, !юлучает оптимяльпуlo;;, (» во.! йокдс!(и 5! (Iн(1|тилл 5(To() Я э исргиlо (..:,)(Об j):. зуется в поток снегового изл, (ения (!If::п((,i,-!»тором 8. Поток светового излуче п(л. Бозб) ) (— дая ФЭУ, создает на подкл(0|с(пюй к Бь:.(05(.
ФЗУ нагрузке сигнал. Про. О,Ill(of .3,-п,(п,!й
t)XO!!jfI0M5, TOKV IC CKTOP3. (ЯКОС Ч:,; П„;((;!:(:, Cl(К(О(;(?1(КтрОПОВ 1(.. ((., l;!i < ° (и (1 ((! ()б I) ((к(? (((!(! |гг (г гч! ...,(, ;;; 5I I .. "0 (И((к ((. 1 ((!. (!(I (),;(><.!(1(1(1 (1, (0 1 (: l,. i(((i (» .! (((.;!((! (() ((! .13,"ЮЦ(?151(lte: () .:„|сктро(! Пс). 0 ill(oж и слл |па(,римср,;1,1»
БЗУ-1 5 н 10- †-10 раз(и снизить уровень шъ мов практичсск)I до уровня собственных шумов i!crc ...I! 3 сиг. аля,;. iii сократить врс:(:I i:CC IC10B3iili5: 00J?ieКТЯ, T3Ki IiPlI Te !НОВОМ
to -(оке БЭУ-1 ). менее о 10 — - " Л можчо ре(ч с.;)и ровать десятки э ICKTpoFIQB В ceK), нд;.. T. токи порядка !0 — — 10 — - "А, что не удается сделя-ь с J!Îìo.ц.-.ю i!звестного ранее .—.етсктора с развя".ûâ3:о.цим преобразователем I;1 ! ) ((pс;!".:ст i;.:обретеi!.tя
20 (етектор электронов, содержащ)!й устройС1 БО CGOP3 Э. !СК1 Ро:!ОВ,;? ЯЗВ ЯЗЫВЯ ЮЩИ и 1(Р(0;)(язовятель, э(:товои "Îгок с которого наирав !(.l1 1151 вхо;! (J. .Ото»л Kтp0(1(101 О j . 1110жи 1 ел/1
iIO;J,Ije!K)cI !(ИОй Ii СМУ ИЯГРУЗКОИ, ИСТО ПШК ПИ .?.) I c111H5i 1 ИС«ЛC. j«llblI (»i 1301(!.1()ИИЫИ отличя(ощи tcл т м, что, с цсл!ю пов:-:— шепил об цего коэффициента уcl!Лсния, 01!, (:ябжсll элск(ропиым ум!южителем с малым
К() Э ф (() И ц И ((: Т 0 (i i I J I i c l cl, () ci C i i o: (0 ж С Н Н Ы л! (! Е ) ил i
:50, cTpolicтвом c(!op3 эл KTpotio!) Ii разВ»зыва!О:ljlI:iI 1 !РС,()P330Â3TCËC."1, (ëo, jf!0 I Э.1ЕКТРОД КоI OPOi 0 БЬIИО, (НЛСТ ф (I K(I!1!O КОЛ ICKTOP3 П010КЯ ЭГ(СKTPOHОБ Э.1(.(iTРОПИОI 0 « Ailloii(I ITC. 1» С:it;(.11)1!,! iio.)c)iI ii1I(lPf1 o?l 1 1м(мя.