Устройство для проекционной печати и совмещения рисунков фотошаблона с подложкой

Устройство для проекционной печати и совмещения рисунков фотошаблона с подложкой

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е EEEE48И45

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10.07.72 (21) 1807698/26-21 (51) Ч. Кл. Н 05k 13/00

Н Olj 39/12

G ОЗЬ 7/12 с присоединением заявки М

1осуларстненный комитет (23) Пр оритет

Опубликовано 15.08.75. Бюллетень М 30 (53) УДК 621.382.002 (088.8) по делам изобретений и открытий

Дата опубликования описания 11.11.75 (72) Автор изобретения

А. А. Гаври.7кин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОЙ ПЕЧАТИ

И СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКОВ ФОТОШАБЛОНА С ПОДЛО)ККОИ

Изобретение относится к области технологии изготовления интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, в частности к автоматическим устройствам проекционной фотолитографии — фотоповторителям, фотонаборным устройствам и установкам проекционного совмещения и экспонирования для изготовления фотошаблонов и гравировки маскирующих микрорельефов на поверхности полупроводниковых подложек методами фотолитографии.

Известны устройства для проекционной печати и совмещения рисунков фотошаблонов с подложкой, содержащие оптическую проекционную систему, трехканальный фотоэлектрический микроскоп с электронным измерительным блоком, блок экспонирования, следящую систему взаимной ориентации и перемещения подложки и фотошаблона, и отсчетный двухкоординатный блок.

Недостатком известных устройств является то, что фотоэлектрические следящие системы из-за взаимного маскирования реперных знаков совмещения в их совместном изображении имеют «мертвые» зоны в их дискриминационных характеристиках, что приводит к уменьшению их поля зрения, срыву слежения за взаимным положением совмещаемых реперных знаков и снижению точности базирования и совмещения фотошаблона с подложкой.

Для расширения поля зрения фотоэлектрической следящей системы и повышения точности совмещения предлагаемое устройство снабжено расположенными за фотошаблоном автономными источниками света, служащими для освещения поверхности подложки, а каждый оптический канал фотоэлектрического микроскопа также снабжен автономными источниками света для освещения участков фото10 шаблона, причем упомянутые источники света через источник питания и усилители мощности соединены с раздельными блоками сравнения амплитуд сигналов от изображения реперных знаков подложки и фотошаблона.

15 На фиг. 1 изображена оптическая схема описываемого устройства проекционной печати и блок-схема его фотоэлектрической следящей системы; на фпг. 2 — эпюры выходных импульсных сигналов фотоэлектрического микро20 скопа.

Устройство для проекционной печати рисунка фотошао 7она 1 EE2 EIO+.70 i . 2 содержит проекционный объектив 3, координатные столы с мпкроманппулятором 4 для ориентации и пе25 ремещения пластины при мультипликации изображений на ее поверхности с помощью управляемой сигналами фотоэлектрического микроскопа (ФЭМ) следящей системы, которая состоит из логического блока 5 управления, ис

37 полнительных двигателей 6 для мпкроманипу поч,чо>ккц с г(омо(ць;о явто(томных исто шиков света.

Блок 3(1 выделяет ихтпульсные сигналы 41 оТ изобра>кения реперного зттака подло>кки. лежащие выше уровня 43, а блок 31 выделяет сигналы 42 от изобра>кения репепного знака

26 фотошаблона 1, лежящие ниже уровня 43.

Интеграторы 32 и 33 измеряют амплитуду этих сигнялов, блоки 34 и 3(> срявнивают их с установленными уровнямц U О и U"(I, а сигналы ряссоглясовянич с этих блоков чепез усилители мои!ности 36 и 37 поступяют на управ, I5IloTLlHp. входы стабилизированных источников питания 38 и 3сТ, пзменля ппи этом интенсивность исто тгтт(ков светя 11 ц 27 в сопряженных кяна IBx ст>ЭМ и осветителя полупроводпиковоц 1(лястТ(ньц изменяя тем самым осветценностт. пепепных знаков тяки т Обрязом, чтобьт ямплпту,11.1 TTT и 1Т сигналов 41 и 42 оставались постоянт(ым11 л равным!1 установленТТЫМ УПОВЦЯМ.

Такял система явтомятического пегулиповапия Аотометрического контрястя репеппых знаков фото!!тяблоня и подложки в II i совместном изображении позво.чяет надежно регистриповать эти знаки по всему полю зпения

ФЭМ в холе всего технологического цикла из отовлецил приборов ня полупг>оводнпковой!

To I. 1с1>!111Р, пп!1 !(oToDo 1 РР !цIтРгря тьHI-I коэсттЖициеHT Отпяженпл пзмснлетсл в широких (ппеде,чях 1 0,18 — Т !.85 1

5 Предмет цзобретецц СтПОТТСтВО ЛЛЛ ПРОЕКЦТТОЦНОй ПС ТЯтТТ и СОВме(пения пТтсм111(ов Мтогттябло тя с пс,,то>к!(Ой, содеп>кяптее Оптшгс скуто ппоет.ццо>тн то системi, тт>Рхтсяня,чт-,нь(й (Т>отоэ тс тпп"Рp ;If(I м(т!спо1п DТсoH с э,(РктрОТ, ньтм пкмс гт11тл- ь!1ь(м (Io!(o>T бчотс экспоппповяпцч. РчРТтлпт О спстсму взаимной Опиентяцщт т. пеп >Те(цеттцл по т„чо>кТсц и

Фото(!!яблоня 11 Отс: Ртцый дг хкоопчттцатный блок, о т л и, я fo ц1 е е с л тем. ITo. с целью пясширен(тл поля зпенпя (11 ото= с. стпп oc!нябжено пяс полс же(1 ть!мп зя

АОТО11(яблоном я то!то (и!э»TI1 !!сто !ттт(тся.!и светя, слм>Тс?11(имц д.-(л Освептет 1(я повспхности подложтстт, я т<я>клый Опттт 1(c сттй кяIтя;1 (ЪОТОэлектпичестсого 111!споскопя тякже сцаб>тсен авTOHOXfHbT TTf ТТСтОТНЦКЯМЦ СВЕТ?, ТЛЛ ОСВЕЩЕНИЯ

7 ястков (Т>ото(ттяб,чоня, ппц11е т по TTTHvTT IB ттсTo и!11<и светя Тепез !!сто ц(цтсц пптянця и

25 си? TITAN÷!I TDIIIHocTTT соечппенг.т с паз(ТРльттьтми г ЛОКаМИ СПаВНРНИЯ,ЯМПЧИт (Д СПГНЯЛОВ От ИЗОбПяженця ПСПЕПТТЬТХ ЗНаКОВ Гт яnn>TV(TI и СЪОтО. шяблоця.

481145

Составитель Н. Блинкова

Текред Л. Казачкова

Редактор С, Байкова

Корректор Л. Орлова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2569/16 Изд, № 1704 Тираж 869 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5