Делительная машина для изготовления дифракционных решеток

Делительная машина для изготовления дифракционных решеток

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ дц 482276

Союз Советских

Социалистических.Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.11.72 (21) 1851095/25-8 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 30.08.75. Бюллетень М 32

Дата опубликования описания 12.01.76 (51) М. Кл. В 23q 17/02

G 01b 11/02

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 531 792 3 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. В. Куинджи, А. Ф. Баранов, С. А. Стрежнев, М. П. Маркичев и Я. К. Лукашевич (71) Заявитель (54) ДЕЛИТЕЛЬНАЯ МАШИНА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК

Изобретение касается техники нарезания дифракционных решеток на делительных машинах.

Известна делительная машина для изготовления дифракционных решеток с фотоэлектрическим контролем деления по интерференционным муаровым полосам. В этой машине измерительная решетка-индекс установлена на делительной каретке рядом с заготовкой нарезаемой решетки, а решетка-шкала — на станине.

Однако эта машина не позволяет контролировать и корректировать малые повороты делительной каретки относительно вертикальной оси, возникающие в процессе ее перемещения по направляющим, из-за отсутствия сканирования зоны переналожения решеток вдоль штрихов решетки-индекса. Эти неконтролируемые повороты ведут к веерообразному расположению штрихов нарезанных решеток и ухудшении их спектральных характеристик.

Оборудование машины вспомогательной следящей системой для контроля и коррекции поворотов делительной каретки усложняет ее конструкцию и следящую систему.

Цель изобретения — повышение точности деления.

Это достигается тем, что решетка-шкала и второе зеркало закреплены на резцовой каретке, причем вертикальная плоскость симметрии решетки-шкалы проходит через вершину резца. С целью заполнения светом рабочей зоны переналожения измерительных решеток зерка5 ло, установленное на резцовой каретке, выпол нено по длине равным решетке-шкале.

На фиг. 1 приведена схема предлагаемой машины, вид сверху; на фиг. 2 — оптическая

10 схема машины.

Машина содержит станину 1 с направляющими 2 и 3, по которым перемещаются соответственно резцовая 4 и делительная 5 каретки. На резцовой каретке 4 установлен резец

15 6, пропускающая решетка-шкала 7 и зеркало 8. Зеркало 8 равно по длине решетке-шкале и установлено под углом 45 к ее рабочей поверхности. На делительной каретке 5 установлена отражательная решетка-индекс 9, за20 готовка нарезаемой решетки 10 и поворотное зеркало 11. Длина штрихов решетки-индекса

9 равна L+S, где I — длина штрихов нарезаемой решетки 10, а S — длина штрихов решетки-шкалы 7. Поэтому при любых рабочих

25 перемещениях обеих измер ительных решеток имеется зона А их переналожения. На станине 1 машины установлен автоколлиматор 12 с приемной головкой 13 следящей системы.

Делительная машина работает следующим

30 образом.

482276

Параллельный пучок света от автоколлиматора 12 направляется зеркалами 11 и 8 в зону А переналожения измерительных решеток и образует интерференционные муаровые полосы, которые наблюдаются в поле зрения автоколлиматора 12 и регистрируются головкой 13.

В начале цикла делительная каретка 5 перемещается по направляющим 3. При этом решетка-индекс 9 перемещается относительно решетки-шкалы 7 в направлении, перпендикулярном к штрихам обеих решеток: в поле зрения автоколлиматора проходят муаровые полосы, являющиеся мерой относительного перемещения решеток. Счетный канал следящей системы (не показан) просчитывает полосы и прекращает подачу каретки 5 после прохождения заданного числа полос.

Во второй половине цикла включается корректирующий канал следящей системы (не показан), одновременно резец 6 опускается на решетку 10, каретка 4 перемещается, нанося очередной штрих на нарезаемой решетке. При этом решетка-шкала 7 перемещается вдоль штрихов решетки-индекса 9. В случае если поворачивается делительная каретка 5, то перемещение решетки-шкалы 7 происходит не строго вдоль штрихов решетки-индекаса 9, а под углом к ним. Поэтому фаза муаровых полос в поле зрения автоколлиматора меняется. Таким образом, по изменению фазы муаровых полос в процессе нанесения штрихов решетки можно контролировать наличие поворотов делительной каретки 5 относительно вертикальной оси.

Коррекция положения штрихов, наносимых на заготовку, осуществляется путем смещения делительной каретки 5 по направляющим 3 в том или ином направлении до исключения сдвига фазы муаровых полос в поле зрения автоколлиматора. При этом перемещение решетки-шкалы 7, а следовательно, и резца 6 происходит строго вдоль штрихов решеткииндекса 9, несмотря на поворот делительной каретки 5. Соответственно все штрихи нарезаемой решетки 10 располагаются параллельно штрихам решетки-индекса 9.

Предмет изобретения

1. Делительная машина для изготовления дифракционных решеток, снабженная резцо20 вой и делительной каретками, оптической системой, включающей два зеркала и автоколлиматор, и измерительной парой, содержащей решетку-шкалу и решетку-индекс, установленную вместе с одним из зеркал на делитель25 ной каретке, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности деления, решеткашкала и второе зеркало закреплены на резцовой каретке, причем вертикальная плоскость симметрии решетки-шкалы проходит через

30 вершину резца.

2. Машина по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью заполнения светом рабочей зоны переналожения измерительных решеток, зеркало, установленное на резцовой каретке, вы35 полнено по длине равным решетке-шкале.

482276!

1

1

Составитель В. Куинджи

Техред Н. Куклина

Редактор О. Юркова

Корректор E. Хмелева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3266/2 Изд. № 1833 Тираж 1061 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5