Установка для очистки изделий

Установка для очистки изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистинеских

Республик

«i) 484906 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 09.02.72 (21) 17 46703/22-2 с присоединением заявки № -. (23) Приоритет (5l) М, Кл. В 085

11/04

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР оо делам нзооретеннй н открытий (53) УДК621.924..89 (088.8) (43) Опубликоваио25 09 75 Бюллетень №35 (45) Дата опубликования описання 2О.11.75 (72) АвтоРы А. Т, Мягков, Н. Г. Медведев, и P. В, Шербачев изобретения

rp 1; с» (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ОЧИСТКИ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение может испольэовать ся в оборудовании электронной промышленности для жидкостной химической обработки, в частности, для химической обработки кремниевых . и ситалловых пластин.

- Известна установка для очистки изделий, содержащая предметный столик с приводом вращения, устройство для подачи и слива жидкости и щеточный узел, включающий механизм вращения и подачи щетки., Однако в известной установке наблюдается стекание капель со щеток на обрабатываемые изделия, размазывание продуктов реакции и эатирание их B микронеров-. ности обрабатываемых иэделий, Цель изобретения - повышение качества очистки плоских хрупких изделий.

Это достигается за счет того, что предметный столик снабжен углублениями под изделия, ось вращения щетки смещена относительно оси вращения предметного

I столика, а ось механизма подачи щетки перпендикулярна к поверхности предметно-, го столика и наклонена относительно оси

4 его вращения. Это повышает качество очистки плоских хрупких изделий.

На фиг. 1 изображена предлагаемая установка, общий вид, на фиг, 2 — раэ5 рез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 вЂ, ;вид по стрелке Б на фиг. 1.

Установка имеет предметный столик 1, установленный на вертикальном валу 2 привода вращения 3..:Hs поверхности пред10 метного столика l имеются радиальные пазы 4 и отверстия 5 для слива жидкости и углубления под изделия 6. Устройство

7 для подачи жидкости на иэделия 6 содержит кольцевую полость 8 с отверстия

16 ми 9, Жидкость на щетку 10 подается перфорированной трубкой 11. клеточный узел 12 содержит механизм во@щения 13 ти механизм подачи 14. Механизм враще ния 13 состоит из привода 15 со щкиворо ременной передачей 16 и валика 17, на котором закреплена щетка 10, ось вращения которой смещена относительно оси вращения предметного столика 1. Валик

17 размещен в поворотном стакане 18, связанном реечной передачей 19 с порш 484906

3 4 невым приводом 20 механизма подачи 14, .влаги с,изделий 6 при аращении предмет причем ось механизма подачи щетки 10. " ного столика 1. перпендикулярна к поверхности предметного

Предмет изобретения; сто ика 1 и наклонена относительно оси . p д б р ! его вращения. Верхняя часть установки . б Установка для очистки иэделий, содер- . — I

: снабжена съемным колпаком 21, жашая предметный столик с приводом вращения, устройство для подачи и cnssa

После укладки изделий 6 включаются жидкости и шеточный узел, включающий последовательно привод вращении 3 пред- механизмы вращения и подачи щетки, метного столика 1, механизм вращения IQ о т л и ч à io щ а я с я тем, что, с де1

13 щетки 10 и подается жидкость на из-.: лью повышения качества очистки плоских делия 6 и щетки 10. Затем !49xaBHGMoM хрупких изделий,:,предметный столик снабподачи 14 подводят щетку 10 к изделиям:,жен углублениями дод изделия, ось враше6 и начинают продесс мойки изделий 6: ния щетки смещена относительно оси враразличными технологическими жидкостями, )5 щения предметного столика, а ось механизпосле чего щетку 10 отводят в сторону и ма подачи щетки перпендикулярна к поверхвключают ее вращение. Подача жидкост" ности предметного столика и наклонена от-, прекращается и ведется пропесс удаления носительно оси его вращения.

484906

В изб

Заказ ((H3rl, _#_ i453 ТиРаж 648

Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35 Раушская наб., д. 4/5

ППП „Патент" Москва, Г-59, Бережковская наб., 24

Составитель ц.й ц ьпев

Редактор Л Л „Техред Н.Хаиеева Корректор ЛЛзесова